世纪的硅微电子学的论文(范本).docVIP

21世纪的硅?微电子学的论?文 21世纪?的硅微电子学?的论文 作者?简介 王阳元?，1935年?生，微电子学?家。浙江宁波?人。1958?年北京大学物?理系毕业。北?京大学微电子?学研究所教授?。 关键词 ?微电子技术 ?集成系统 微?机电系统 d?na芯片 1? 引 言 综?观人类社会发?展的文明史，?一切生产方式?和生活方式的?重大变革都是?由于新的科学?发现和新技术?的产生而引发?的，科学技术?作为革命的力?量，推动着人?类社会向前发?展。从50多?年前晶体管的?发明到目前微?电子技术成为?整个信息社会?的基础和核心?的发展历史充?分证明了“科?学技术是第一?生产力”。信?息是客观事物?状态和运动特?征的一种普遍?形式，与材料?和能源一起是?人类社会的重?要资源，但对?它的利用却仅?仅是开始。当?前面临的信息?革命以数字化?和网络化作为?特征。数字化?大大改善了人?们对信息的利?用，更好地满?足了人们对信?息的需求；而?网络化则使人?们更为方便地?交换信息，使?整个地球成为?一个“地球村?”。以数字化?和网络化为特?征的信息技术?同一般技术不?同，它具有极?强的渗透性和?基础性，它可?以渗透和改造?各种产业和行?业，改变着人?类的生产和生?活方式，改变?着经济形态和?社会、政治、?文化等各个领?域。而它的基?础之一就是微?电子技术。可?以毫不夸张地?说，没有微电?子技术的进步?，就不可能有?今天信息技术?的蓬勃发展，?微电子已经成?为整个信息社?会发展的基石?。50多年来?微电子技术的?发展历史，实?际上就是不断?创新的过程，?这里指的创新?包括原始创新?、技术创新和?应用创新等。?WWw..C?om晶体管的?发明并不是一?个孤立的精心?设计的实验，?而是一系列固?体物理、半导?体物理、材料?科学等取得重?大突破后的必?然结果。19?47年发明点?接触型晶体管?、1948年?发明结型场效?应晶体管以及?以后的硅平面?工艺、集成电?路、cmos?技术、半导体?随机存储器、?cpu、非挥?发存储器等微?电子领域的重?大发明也都是?一系列创新成?果的体现。同?时，每一项重?大发明又都开?拓出一个新的?领域，带来了?新的巨大市场?，对我们的生?产、生活方式?产生了重大的?影响。也正是?由于微电子技?术领域的不断?创新，才能使?微电子能够以?每三年集成度?翻两番、特征?尺寸缩小倍的?速度持续发展?几十年。自1?968年开始?，与硅技术有?关的学术论文?数量已经超过?了与钢铁有关?的学术论文，?所以有人认为?，1968年?以后人类进入?了继石器、青?铜器、铁器时?代之后硅石时?代（sili?con ag?e）。因此可?以说社会发展?的本质是创新?，没有创新，?社会就只能被?囚禁在“超稳?态”陷阱之中?。虽然创新作?为经济发展的?改革动力往往?会给社会带来?“创造性的破?坏”，但经过?这种破坏后，?又将开始一个?新的处于更高?层次的创新循?环，社会就是?以这样螺旋形?上升的方式向?前发展。 在?微电子技术发?展的前50年?，创新起到了?决定性的作用?，而今后微电?子技术的发展?仍将依赖于一?系列创新性成?果的出现。我?们认为：目前?微电子技术已?经发展到了一?个很关键的时?期，21世纪?上半叶，也就?是今后50年?微电子技术的?发展趋势和主?要的创新领域?主要有以下四?个方面：以硅?基cmos电?路为主流工艺?；系统芯片（?system? on a ?chip，s?oc）为发展?重点；量子电?子器件和以分?子（原子）自?组装技术为基?础的纳米电子?学；与其他学?科的结合诞生?新的技术增长?点，如mem?s，dna ?chip等。? 2 21世?纪上半叶仍将?以硅基cmo?s电路为主流?工艺 微电子?技术发展的目?标是不断提高?集成系统的性?能及性能价格?比，因此便要?求提高芯片的?集成度，这是?不断缩小半导?体器件特征尺?寸的动力源泉?。以mos技?术为例，沟道?长度缩小可以?提高集成电路?的速度；同时?缩小沟道长度?和宽度还可减?小器件尺寸，?提高集成度，?从而在芯片上?集成更多数目?的晶体管，将?结构更加复杂?、性能更加完?善的电子系统?集成在一个芯?片上；此外，?随着集成度的?提高，系统的?速度和可靠性?也大大提高，?价格大幅度下?降。由于片内?信号的延迟总?小于芯片间的?信号延迟，这?样在器件尺寸?缩小后，即使?器件本身的性?能没有提高，?整个集成系统?的性能也可以?得到很大的提?高。自195?8年集成电路?发明以来，为?了提高电子系?统的性能，降?低成本，微电?子器件的特征?尺寸不断缩小?，加工精度不?断提高，同时?硅片的面积不?断增大。集成?电路芯片的发?展基本上遵循?了intel?公司创始人之?一的gord?on e．