一种六自由度微定位工作台位姿控制新方法分析-analysis of a new method for position and posture control of 6 - dof micro-positioning worktable.docxVIP

Research on the Novel Controlling Method of Six-DOF Micro Positioning PlatformA Thesis Submitted to Chongqing University in Partial Fulfillment of the Requirement for theDegree of Master of EngineeringBy Wan PeiSupervised by Prof. Qin LanMajor： Instrument Science and TechnologyCollege of Optical Electronic Engineering of Chongqing University, Chongqing, ChinaMay 2011摘要本文研究了一种在四层平板之间并列分布多个压电陶瓷驱动器，通过控制压 电驱动器产生微驱动，最终实现六自由度微定位的新方法。本文的主要研究工作包括：① 在分析研究国内外现有微定位方法的基础上，研究了一种空间分布压电陶 瓷驱动器的六自由度微定位新方法。完成了定位原理的推导，建立了位姿控制模 型。在四层工作台间并列分布十二个压电陶瓷微驱动器，每层工作台上的四个压 电陶瓷微驱动器均布在半径为 l 的圆周上。根据位姿控制模型，压电陶瓷微驱动器 通以不同电压,使其分别产生伸长或缩短，各驱动器同时作用，形成微定位机构目 标工作台在不同方向上的微动。② 采用 MATLAB 软件计算位姿控制模型，得到六自由度方向需要产生位移 yi 时，各压电陶瓷微驱动器的应提供的伸缩量Δhi；通过 ANSYS 软件建立微定位 平台实体模型，改变各驱动器参数（参数变化值等于Δhi），监测目标工作台位移 变化 yk；验证微定位原理与控制模型的正确性和方案的可行性。③ 针对压电陶瓷驱动器特殊的负载特性，研究了压电陶瓷驱动电源，可实现多路压电陶瓷微驱动器同时驱动。介绍了主要的电路，进行了放大电路的仿真和 分析，完成了放大电路的基本调试。该压电陶瓷驱动电源具有一定的实用性和创 新性。④研究了单个压电陶瓷微驱动器的复合控制方法，使驱动器取得了较高的定 位精度。针对压电陶瓷器件在精密定位控制中存在的迟滞、蠕变和位移非线性等 不足，将 Preisach 前馈控制和 PID 反馈控制相结合，分别完成了 Preisach 和基于积 分分离 PID 控制的实际编程，并完成了实验验证工作。本文的研究工作可为精密调整及微进给提供新的思路和方法。关键词：压电陶瓷驱动器；微定位工作台；位姿控制ABSTRACTA novel method of Six-DOF micro positioning with PZT actuators have been studied, multi PZT actuators have been distributed spatially and applied voltage, six-DOF micro positioning finally has been realized.The major research works completed in this dissertation include:①Based on the research of micropositioning at home and abroad, a novel technique of six DOF(degree of freedom) micro positioning with PZT actuators have been put forward. The author studied the principle of micropositioning and created the position control matrix. Twelve PZT actuators are distributed spatially among four work platforms, and in each layer there are four PZT actuators placed on the /circumference/circumference with radius of l . Based on position control matrix, PZT actuators expanse or contract by appling different voltage, finally, micro movement in different direction are formed.②MATLAB was used