单电荷态电子回旋共振离子源.docVIP

------------------------------------------------------------------------------------------------ —————————————————————————————————————— 单电荷态电子回旋共振离子源 第24卷第1期 核技术 Vol.24，No.1January2001 2001年1月NUCLEARTECHNIOUES 丁俊章 赵玉彬李锦玉 刘占稳 张马保华 赵红卫汶高级元 袁宋 兰州 平王沛 曹辉 云雷海亮 张子民张雪珍郭晓虹冯玉成 李锡霞 （中国科学院近代物理研究所730000） 摘要描述了一台2.45GHz单电荷态电子回旋共振（ECR）离子源的原理、结构与应用。介绍了其 微波系统与磁场结构。在微波输入功率约600W，引出高压22kV，引出孔径为!6mm时，该离子源的总束流（可达90mA。 H1++H2++H3+）关键词 微波，等离子体频率，永磁体ECR离子源， TL503.3 中图分类号 电子回旋共振（ECR）离子源是一种无阴极源。它具有电离度高，形成的等离子体密度高，束流强度大，性能稳定可靠等优