扫描电镜及电子探针在工程材料中应用.pdfVIP

扫描电镜及电子探针 在工程材料中的应用 1 一. 扫描电镜基本原理 扫描电子显微镜的成像原理： 是以类似电视摄影显像的方式，利用细聚焦高能电子束在样品表面扫 描时激发出来的各种物理信号来调制成像的。 早在1935年，德国的Knoll就提出了扫描电镜的工作原理。 1938年，Von Ardenne 开始进行实验研究。 1942年，Zworykin、Hill 制成了第一台实验室用的扫描电镜，但真正 作为商品，那是1965年的事。 70年代开始，扫描电镜的性能突然提高很多，其分辨率优于20nm， 才广泛地被应用。 2 1、扫描电镜的构造和工作原理（1） 扫描电镜构造： 1. 电子光学系统； 2. 信号收集处理、图像显 示和记录系统； 3. 真空系统； 4. 电气系统 四个基本部分组成。 扫描电镜结构原理方框图 3 1、扫描电镜的构造和工作原理（2） 基本工作原理： 由电子枪发射电子，在电场 下被加速，经电磁透镜聚焦， 成为极细的电子束，在扫描 线圈作用下，在样品表面扫 描，激发出各种物理信号， 其强度随样品表面特征而变 化。通过检测器检测信号， 并经放大，调制图像。 扫描电镜结构原理方框图 4 2、扫描电子显微镜的特点（1 ） ① 高分辨率：普通钨灯丝扫描电镜其二次电子像的分辨率达3～4nm ；而场发射扫 描电镜可达1～3nm。 场发射扫描电镜的分辨率照片 15KV 30万倍 普通钨灯丝扫描电镜的分辨率照片 JEOL 日本电子 25KV 10万倍 JEOL 日本电子 5 2、扫描电子显微镜的特点（2） ② 高放大倍数：10倍～20万连续可调，原位放大。 ③ 高景深：适合于粗糙表面及断口形貌的显微分析。 ④ 多功能：可与其它分析仪器相组合，能在同一台仪器上进行形貌、微区 成分和晶体结构等多种微观组织结构信息的同位分析。 6 3、电子与固体作用产生的信号 (1) 背散射电子：是指被固体样品中的原子核反弹回来的一部分入射电子，包括弹性背散 射电子和非弹性背散射电子。来自样品表层几百nm的深度范围，产额随样品原子序数 增大而增多。 (2) 二次电子：是指被入射电子轰击出来并离开样品表面的样品的核外电子。90 ％是来自 样品原子外层的价电子；能量 小于50eV，大多只有几个eV；一个能量很高的入射电子 射入样品，可产生许多二次电子；从表层5～10nm深度内发射的，对样品表面形貌十 分敏感，因此，能有效地显示样品的表面形貌。 (3) 吸收电子：入射电子进入样品后，经多次非弹性散射能量损失殆尽，最后被样品吸收。 (4) 透射电子：若样品很薄，就会有一部分入射电子穿过薄样品而成为透射电子。 (5) 特征X射线：当入射电子激发样品原子的内层电子，使原子处于能量较高的电离或激发 态，此时外层电子将向内层跃迁以填补内层电子的空缺，从而释放出具有特征能量的X