基于SOI平板光子晶体的研究与发展 毕业论文.docVIP

本科毕业论文 题 目： 院 （部）： 理学院 专 业： 应用物理学 班 级： 光电0 姓 名： 学 号： 指导教师： 完成日期： 2年6月1日 摘 要 ABSTRACT································································Ⅳ 第一章 绪 论·······························································1 1.1前言···································································· 1 1.2光子晶体的基本概念、其结构及应用 1.2.1光子晶体的基本概念 1.2.2光子晶体的结构 1.2.3光子晶体的应用 1.3 SOI材料的结构特征、应用及发展前景 1.3.1SOI材料的结构 1.3.2 SOI材料的广阔应用 1.3.3 SOI材料的发展前景 1.4本论文研究的主要内容 第二章 光子晶体的理论研究 2.1光子晶体理论研究概况0 2.2光子晶体理论研究方法0 2.2.1平面波展开法0 2.2.2时域有限差分法1 2.2.3转移矩阵法4 2.2.4多重散射法4 第三章 二维光子晶体平板波导的理论研究5 3.1 SOI基光子晶体波导的分类及研究进展5 3.2带隙计算6 3.3 传输仿真0 3.4波导的设计及其优化2 3.5 本章小结4 第四章 总 结5 4.1研究结论5 4.2前景与展望5 谢 辞······································································26 参考文献···································································27 摘 要 光子晶体是一种介电常数成周期分布的介质材料，周期为光波长量级。在光子晶体材料中存在着特殊的频带，在这些频带中光波被禁止传播。如果在光子晶体中引入缺陷，则在禁带中会存在缺陷态，使得与该缺陷态相对应的波长的光子在其中可以存在和传播，利用这种特性可以设计出微米－毫米量级尺寸的光波导器件，具有很多传统波导所无法比拟的优点。 系统地介绍了光子晶体产生的历史背景、物理基础、带隙理论及光子晶体的分类。综述了光子晶体的特性及主要应用领域，并简单地阐述了目前研究光子晶体的主要理论方法。 利用平面波展开法(PWE)与时域有限差分法(FDTD)相结合的方案，通过平面波展开法能更快速的找到合适的带隙，再通过FDTD法进行传输，快速找到二维光子晶体不同截面(三角形、正方形、六边形)的带隙准确位置，比较两种方法在计算带隙问题上的优缺点，给出所设计结构的准确带隙位置。 设计了基于0.18μm硅工艺的二维光子晶体波导，包括三角晶格和正方晶格结构的直线形波导等几种光子晶体波导器件，并分别进行了传输仿真和结构优化。这种方法比一般单独使用PWE法或单独使用FDTD法进行波导设计速度更快，结果也更准确。 本论文对基于SOI的二维光子晶体平板波导在理论和工艺两方面做了开创性的探索研究，为后续光子晶体集成系统的研究打下良好的基础。 关键词：光子晶体光子禁带平面波展开法时域有限差分法SOI  Research and development of SOI-based photonic crystal slabs ABSTRACT Photonic crystals (PhC) are optical structures with wavelength-scale periodic variations of the refractive index. There are frequency bands, which called photonic bandgap (PBG), in the periodic dielectric materials. Light with frequency in the PBG can’t propagate through the photonic crystals. If there are defects (dot or line) in the periodic dielectric it will appear frequency bands in which light can propagate. With PhC some waveguides of micrometer-scal