扫描电镜显微镜的原理及应用--简单形象.pptVIP

扫描电镜显微镜的原理及应用 内容列表 电子与固体试样的相互作用 1 扫描电镜结构原理 2 扫描电镜附件 4 扫描电镜样品制备 5 扫描电镜图象衬度原理 扫描电镜应用 6 电子显微镜vs光学显微镜 返回 Part 1 电子与固体试样的相互作用 电子与固体试样的相互作用 　 能量（eV） 横向距离（nm) 作用深度（nm） 入射电子 20k 5 1E+05 背射电子 俄歇电子 10E2～3 5 1 二次电子 50 5 10 背散射电子 10～20k ～100 100 特征X线 1～15k 1000 5*10E+03 扫描电镜电子信息 背散射电子 二次电子 形貌 成分 扫描电镜电子信息 特征X射线 元素 成分 返回 IC Device Part 2 扫描电镜结构原理 扫描电镜结构原理 电子光学系统 电子枪 电磁聚焦 扫描线圈 返回 蔡司钨灯丝扫描电镜 Part 3 扫描电镜图象衬度 扫描电镜图象及衬度 二次电子象—形貌衬度 二次电子电子产额与入射角的关系 η∝1/cosθ θ角越大，二次电子产额越高，这表明二次电子对样品表面状态非常敏感 返回 背散射电子像--原子序数衬度 背散射电子的信号强度I Part 4 扫描电镜附件 波谱仪 能谱仪 扫描电镜附件 元素分析 定性分析 λ与Z的关系式可写成: 定量分析 试样中A元素的相对百分含量CA: 波谱仪vs能谱仪 比较内容 WDS EDS 元素分析范围 4Be－92U 4Be－92U 定量分析速度 慢（几十min ） 快（1～2min ） 分辨率 高（≈5eV） 低（130 eV） 检测极限（接收信号的立体角） 10e-2 (%) 10e-1 (%) 定量分析准确度 高 低 X射线收集效率 低 高 峰背比（WDS/EDS） 10 1 返回 Part 5 扫描电镜样品制备 扫描电镜样品制备 块状或颗粒状 块状：Φ 25mm20mm 颗粒：铜网微栅 均质（定量分析） 较好的电导：喷碳膜/金膜 Part 6 扫描电镜的应用 扫描电镜的应用 粉体 扫描电镜的应用 截面 Laser切割LED芯片后之SEM照片 扫描电镜的应用 PSS-SEM 芯片静电击穿现象 抛光面 扫描电镜的应用 断口