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习题讨论 1.某厂渗碳希望渗层奥氏体中碳浓度控制在0.9%左右。该厂没有先进设备控制碳势，采用了下面工艺。 问：这种工艺对控制碳势有何好处？ 提示：利用Fe—C相图分析。 渗碳钢一般低碳合金钢 930°渗碳如果奥氏体中碳 超过0.85%，降温到860° 从奥氏体中析出合金碳化物降低 奥氏体中碳浓度 第2页，共 19页 第三章 薄膜技术典型工艺分析 主要技术：气相沉积（vapor deposition） 利用气相中物质发生反应,在基体材料表面形成固态的薄膜 也可用来提高其他械性能（如耐磨性、防腐蚀） “没有薄膜技术就没有今天的计算机技术” 现代信息技术支柱 CVD技术（chemical Vapor deposition） PCVD技术（plasma chemical Vapor deposition） PVD技术（physical vapor deposition） 3.1概述 第2页，共 19页 基本理论: 3.2 典型CVD技术基本过程与应用 CVD—利用气相化学反应在基体材料上沉积薄膜 本章讲授 1.典型工艺设计原理与基本过程； 2.气体放电简介 3.不同镀膜技术典型应用 培养具有选择不同镀膜技术能力 物理化学 、真空理论 、等离子体理论、综合材料科学多种原理设计各类薄膜；多基本理论学科综合 存在目前理论落后于实践情况 TCVD工艺与设备设计 设计工艺：沉积TiC 1.反应温度计算？ 2.氢气作用？ 3.出气口真空泵作用？ 第2页，共 19页 应用举例： 机械部“八五”提出工模具“涂黄”规划 例1 应用于工具 (教材上举例) 沉积TiC 或TiN(样品)寿命提高1-5倍. 教材P246 应用工具模具 冷做模具寿命提高3-10倍？涉及材料科学理论 第2页，共 19页 讨论题：TCVD应用范围 碳工钢（淬火+低温回火M回组织） 可否制造车刀？为什么？ 1.工具、模具钢、材料种类？ 碳素工具钢、合金工具钢、高速钢、硬质合金、冷热模具钢 刀尖温度高组织变化？性能变化？为什么？红硬性？ 回火转变实质：非平衡组织向平衡图组织转变 高速钢M回+碳化物；硬质合金：碳化物颗粒(粘结) 第2页，共 19页 观点1：TCVD一般仅适用硬质合金材料 TCVD提高刀具寿命1-5倍 表面改性技术：例如硬质合金刀具渗硼寿命3-5倍； 氮碳共渗技术提高刀具寿命2-7倍 成本低、设备利用率高、操作相对简单 2.选用TCVD提高工模具寿命是否合理？ 致命问题：TCVD一般有较严重污染 观点2：TCVD技术存在沉积温度高、污染环境两大问题；应该用到产生极高经济价值的产品 第2页，共 19页 例2 CVD技术制备单晶工艺设计原理(硒化锌） 利用材料学原理，采用CVD技术设计制备单晶体工艺 制备单晶条件:结晶时仅1个晶核长大 形核:必须合适过冷. 形成临界晶核; ΔT约等于 0.2熔点易形核. 长大:有过冷度就会长大, 长大速度 与界面有关. 第2页，共 19页 设计思路: 1. 材料学原理为主要依据： 仅在特殊部位有合适过冷度形核,其他部位过冷度小无法形核,该晶核长大成单晶 2.工艺设计： 设计反应式，利用物理化学计算出反应平衡温度 ΔG=0 配合试验 确定840°C ；判断是吸热还是放热反应？ 3.设备设计： 长石英管，两段加热分成源区与沉淀区；精确控制不同区域的温度 第2页，共 19页 具体实现: 源区:温度高于平衡温度840°C,反应正向进行, 产生ZnI2气体飞向沉淀区 ZnSe多晶颗粒;碘混合放入石英管源区中抽真空. 沉淀区:温度低于平衡温度,反应逆向进行. 调节石英棒温度仅在石英棒尖端满足形核条件,仅形成一个晶核。在气体不断运输下晶核长大成单晶. 第2页，共 19页 总结： 此法制备的单晶体经济价值非常高；对环境无污染；还可用 于单晶生长、材料合成、 物质提纯等 提示：高科技产品一般均是综合利用各个学科基础知识实现 TCVD技术优点: 1.利用物理化学理论进行工艺设计 2.设备相对简单，操