专业晶体模拟供应商——FEMAG Soft公司简介.pptxVIP

FEMAG Soft公司简介 晶体模拟软件 公司简介 产品简介 合作伙伴 重要资料索引 2 FEMAG Soft公司简介 FEMAG Soft公司成立于2003年，是比利时鲁汶天主教大学附属公司，致力于开发、销售和支持晶体生长数值模拟专业软件产品。 3 FEMAG Soft公司简介 产品与服务 FEMAG Soft擅长所有类型晶体材料生长方面的工艺模拟专业技术，比如： 直拉法（Czochralski） 区熔法（Floating Zone） 适用于铸锭定向凝固过程工艺（DS），Bridgman法 物理气相传输法（PVT） 应用范围 20多年来，FEMAG Soft公司所开发的软件产品获得了国际上诸多专业生产企业的青睐，在以下类型的企业中得到广泛应用： 集成电路用单晶硅生产企业 光伏技术用单晶硅生产企业 LED光电技术用氧化物晶体和蓝宝石晶体生产企业 4 公司产品简介 5 公司产品简介 模拟软件的优点 晶体生长模拟软件能够提供晶体生长炉内部环境及晶体生长过程，从而为生产商提供必要的信息，以便分析晶体生长过程特征及其工艺优缺点是否符合市场需求。通过模拟软件提供的功能，生产商可以提高工艺改进、优化时的目标与优先次序。 模拟软件所提供的虚拟实验使晶体生长商在物理实现之前设计、校验他们的生产工艺。虚拟实验不但操作方便、经济实惠、而且基本上不存在任何技术限制。 6 公司产品简介 7 设计工程 保温套和反射体的形状、材质和位置设计 加热器的位置 辅助加热器/多加热器设计 保温层的选择及其设计 质量控制工程 热应力 位错 氧含量分布与控制 掺杂物分布与控制 缺陷控制（点缺陷和微观缺陷等） 成本控制工程 能耗 气耗 原料辅料（成本、使用寿命等） 提高晶体生长速度的同时防止固-液界面变形过大和裂纹 主要功能 公司产品简介 应用范围 FEMAG Soft公司的模拟软件应用于开发、优化以下类型的晶体生长工艺： IC级单晶硅和光伏级晶体硅 Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体晶体材料，如GaAs/GaP等 锗单晶 蓝宝石、氧化物和卤化物 碳化硅 8 主要合作伙伴 UCL www.uclouvain.be Research activity in the field of crystal growth started at the Université catholique de Louvain in the mid 1980’s led to the founding of FEMAGSoft as a spin-off company. FEMAGSofts research is now carried out at the Centre for Systems Engineering and Applied Mechanics (www.csam.ucl.ac.be). 9 主要合作伙伴 Kayex /brand/kayex.aspx Kayex is using FEMAG software for process development and optimization. 凯克斯公司是太阳能及半导体工业中全球领先的晶体生长设备生产商。专业于单晶生长炉的设计、制造及技术支持，从而使凯克斯成为顶级半导体、光伏硅片生产商的首选设备供应商。其母公司为斯必克集团，是财富500强跨国跨行业的公司。 10 主要合作伙伴 CGS www.cgs-gmbh.de FEMAGSoft collaborates with Crystal Growing System GmbH. IKZ www.ikz-berlin.de Institut Für Kristallzüchtung is using FEMAG-FZ in its researches on the Floating Zone process. With the courtesy of IKZ, experimental measurements have been reproduced by using FEMAG-FZ simulation (more). 11 主要合作伙伴 Hanyang University www.hanyang.ac.kr Hanyang university, Korea, is using FEMAG-CZ for several years in its research activities: Division of Electronics and Computer Engineering National Research Laboratory for n