[doc格式] 双光栅正弦相位调制（SPM）干涉测量技术的发展与应用.docVIP

双光栅正弦相位调制（SPM）干涉测量技术的发展与应用 第26卷第5期 2008年lO月 江西 .1IANGXI 科学 SCIENCE Vo1.26No.5 Oct.2008 文章编号:1001～3679(2008)05～0741一o4 双光栅正弦相位调制(SPM)干涉 测量技术的发展与应用 赖秀娟 (1.南昌大学机电学院,江西南昌330031) 摘要:简述了正弦相位调制干涉法的发展,重点介绍了双光栅正弦相位调制在物体阶梯表面的高度差,物体表 面形貌和振动物体表面形貌的等测量领域的应用,并提出了用双光栅正弦相位调制测量振动物体温度的想 法. 关键词:干涉测量:双光栅正弦相位调制;表面形貌;动态测量 中图分类号:TU744.3文献标识码:A ApplicationandDevelopmentofTwo——GratingSinusoidal Phase—.modulationinInterferometry LAIXiu-juan (1.SchoolofMechanicalamp;ElectricalEngineering,NanchangUniversity,JiangxiNanchang330031PRC) Abstract:Thedevelopmentofsinusoidalphase—-modulationininterferometryisintroduced.Astep — surfacealtitudedifference,surfaceprofileandmovementmeasurementwithagratinginterferometer usingsinusoidalphase—modulationareespeciallydiscussed.Andtheideaoftemperaturemeasure— mentofvibratingobjectusingtwo——gratinginterferometerwithsinusoidalphasemodulationispoint—? edout. Keywords:Interferometry,Two—gratingsinusoidalphasemodulation,Surfaceprofile,Movement measllrement O前言 1986年OsamiSasaki…等提出一种正弦相位 调制(SPM)干涉仪,此干涉仪在参考光路中的反 射镜背面粘有一个压电陶瓷(PZT),通过施加给 压电陶瓷一个正弦变化的电压使它正弦振动,实 现了对参考光束的正弦相位调制,通过对干涉信 号进行分析求出被测的物理量.由于该方法具有 结构简单,精度高等特点,因此这种方法得到相应 的发展,1988年OSasaki和HOkazaki利用光 纤正弦相位调制干涉仪测量位移,1990年OSasa— ki,KTakahashi,TSuzuki等人运用一个带有反 馈控制系统的正弦相位调制激光二极管干涉仪消 除外界干扰,2003年0Sasaki_4等人利用正弦相 位调制激光二极管干涉仪对二维旋转角度进行测 量,2007年GuotianHe,和XiangzhaoWang利用 正弦相位干涉法进行实时的微振动测量.随着正 弦相位调制干涉法的发展,带有双光栅的正弦相 位调制干涉法也被有些学者提出来了,因此本文 主要概括了近年来双光栅的正弦相位调制干涉仪 收稿日期:2008—04—24;修订日期:2008—07—14 作者简介:赖秀娟(1983一),女,广东四会人,硕士研究生,主要研究方向:热物理量的激光测试技术. ? 742?江西科学2008年第26卷 在物体阶梯表面的高度差,物体表面形貌和振动 物体表面形貌的等测量领域的应用. l双光栅正弦相位调制干涉仪在物 体阶梯表面的高度差的应用 2004年XuYandeL6提出的用一个双光栅正 弦相位调制干涉仪测量物体阶梯表面的高度差, 其主要的实验装置如图l. 【J)一光源;G1,G2一光栅;,LI,一透镜;objec卜-被测 物体 图1测量阶梯表面的高度差的双光栅干涉仪 图1表示了一个双光栅干涉仪,正负一级光 束经过G2后所产生的光强分布为 ,(z)=C[1+cos(21TX/)](A《P)(I) = Pcos~p/(1一COS)(2) 这里C是一个常数,是在轴方向上的干涉条 纹间距,是G.与轴的夹角,P是光栅的问距, A为光源的波长. 当G2在方向上以acos(o).t+)形式振动 时,光束经过光路图后所得的干涉条纹的光强分 布用付里叶变换表示为 F()=2仃c[6(∞)+A()COS+(∞)sin ](3) 这里有 A(∞)=(M)(∞)+∑J2(u)(一1)Am=l ()=∑-,2一()(一1)曰 当分别等于∞.,2to.和3∞.时,式(3