SPR相位检测法测量纳米级金属薄膜厚度的研究.doc

SPR相位检测法测量纳米级金属薄膜厚度的研究 刘超1，刘庆纲1*，李婷婷1，刘士毅1，樊志国1 1、（） 近年来，薄膜技术在微电子、光电子、航空航天、生物工程、医疗仪器和高分子材料等领域的应用非常广泛，厚度参数因此，如何能够准确检测纳米级金属薄膜的厚度参数已经成为一项技术。 Surface Plasmon Resonance，SPR）是一种特殊的物理光学现象，由SPR效应的共振条件可以计算出共振角度，实验中选取K9玻璃棱镜，采用克莱切曼（Kretschmann）结构随金膜厚度d的变化呈现单调趋势，且这种变化趋势在金膜厚度为30－100nm范围内尤为明显，因此，考虑采用基于SPR效应的相位检测法来确定纳米级金膜的厚度参数。 相位检测法的实验装置如图1所示，由He-Ne激光器发出的波长为632.8nm的激光经过准直透镜后入射到放置在XYZ三维平移导轨和转角平台上的镀膜棱镜内，经棱镜与金膜界面反射后，出射光经过改造的马赫－曾德尔干涉系统分为TM偏振分量和TE偏振分量，后经偏振片产生干涉效应，最后由CCD接收干涉图像。通过控制XYZ三维平移导轨和转角平台可以切换棱镜的镀膜区和非镀膜区，分别获得非镀膜区和镀膜区的干涉图像，如图3、图4所示。通过干涉强度公式可以计算出干涉条纹相对偏移量随金膜厚度的变化曲线，如图2所示，根据该曲线分段拟合得出二者的关系式，即可计算出金膜厚度的值。 对图3、图4两幅图像用Matlab程序加以处理，数据处理结果如图5所示，由图5中得出的数据可计算出金膜厚度为49.76nm。为了验证实验的稳定性和精确性，又进行了三次重复性实验，得出的金膜厚度d的值分别为50.17nm、50.52nm、49.62nm，综合以上四次实验结果计算出的金膜厚度的均值为50.02nm，测量误差为0.02nm，标准差为0.41nm，最大重复性误差为0.90nm。由此可见，本文提出的检测纳米级金属薄膜的方法具有非接触、高精度、结构简单、易于操作等诸多优点。【正文字数：字 参考文献： ．[J]．重庆大学学报（自然科学版），2007，30(6)：35-38． ．[D]．浙江：浙江大学，2007． [3]余家国，赵修建．多孔TiO2光催化纳米薄膜的制备和微观结构研究[J]．无机材料学报，2000，15(2)：347-355． Lü Wenlong，et al．Chlorine gas sensors using hybrid organic semiconductors of PANI/ZnPcCl16[J]．Journal of Semiconductors，2010，31(8)：084010． ．[J]．计量技术，2007，(3)：39-41． ．表面等离子体(SPR)检测电路设计[J]． ．表面等离子体Ι：基本原理[J]．分析仪器，2000，(4)：1-8． Kretschmann E，Raether H．Radiative decay of nonradiative surface plasmons excited by light[J]Z．Naturforsch1968，A23：2135-2136． 张志伟．棱镜反射光技术与工程应用[M]．北京：国防工业出版社．2009-43． ．[M]．西安：西安电子科技大学出版社，2000，82-85． [11]Max Born，Emil Wolf．Principle of optics[M．CambridgeCambridge University Press．199． ．[D]．黑龙江：黑龙江大学，2010． 图1 应用SPR效应的相位检测方法测量金膜厚度的实验装置原理图 图2 干涉条纹相对偏移量随金膜厚度的变化关系曲线 图5 非镀膜区和镀膜区的灰度图像纵向像素灰度值之和随横向像素序数的变化曲线 图3 非镀膜区干涉图像 图4 镀膜区干涉图像 * 通讯作者：刘庆纲，教授，天津大学精仪学院lqg@tju.edu.cn 1