第二节电子与固体的相互作用.ppt

二、二次电子 二次电子是指被入射电子轰击出来的核外电子。 外层价电子的结合能很小，比较容易和原子脱离。 核外电子从入射电子获得了大于相应的结合能的能量后，可离开原子而变成自由电子。 比较接近样品表层，能量大于材料逸出功的自由电子可从样品表面逸出，变成真空中的自由电子，即二次电子。 一个能量很高的入射电子射入样品时，可以产生许多自由电子。但在样品表面上方检测到的二次电子绝大部分来自价电子。 二次电子来自表面50-500 ?的区域，能量为0-50 eV。 二次电子对试样表面状态非常敏感，能有效地显示试样表面的微观形貌。 二次电子的分辨率较高，一般可达到50-100 ?。 扫描电子显微镜的分辨率通常就是二次电子分辨率。 二次电子产额随原于序数的变化不明显，它主要决定于表面形貌，不能用着定性分析。 三、吸收电子 入射电子进入样品后，经多次非弹性散射，能量损失殆尽（假定样品有足够厚度，没有透射电子产生），最后被样品吸收，成为吸收电子。 若在样品和地之间接入一个高灵敏度的电流表，就可以测得样品对地的信号，这个信号是由吸收电子提供的。 入射电子束i0 背散射电子ib 二次电子is 吸收电子ia i0=ib+is+ia 吸收电子信号作为调制图像的信号，其衬度与二次电子像和背散射电子像的反差是互补的。 多元素的样品时，由于二次电子产额不受原子序数影响，则产生背散射电子较多的部位其吸收电子的数量就较少。 吸收电流像可以反映原子序数衬度，同样也可以用来进行定性的微区成分分析。 四、透射电子 如果样品厚度小于入射电子的有效穿透深度，那么就会有相当数量的入射电子能够穿过薄样品而成为透射电子。 透射电子信号中，有弹性散射电子和非弹性散射电子。 具有待征能量损失?E的非弹性散射电子和分析区域的成分有关，因此，可以用来进行微区成分分析。 五、特征X射线 特征X射线：原子的内层电子受到激发以后，在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能量和波长的一种电磁波辐射。 入射电子与核外电子作用，产生非弹性散射，外层电子脱离原子变成二次电子，使原子处于能量较高的激发状态，它是一种不稳定态。 较外层的电子会迅速填补内层电子空位，使原子降低能量，趋于较稳定的状态。 如K层电子逸出，原子就处于K激发态，具有能量EK。 当一个L2层电子填补K层空位后，原子体系由K激发态变成L2激发态，能量从EK降为EL2， ?E的能量释放出来。 ?E＝(EK-EL2) 六、俄歇电子 如果原子内层电子能级跃迁过程中释放出来的能量?E不以X射线的形式释放，而是用该能量将核外另一电子打出，脱离原子变为二次电子，这种二次电子叫做俄歇电子。 俄歇电子能量也各有特征值，一般在50-1500 eV范围之内。 由试样表面极有限的几个原于层中发出的， 适用于表层化学成分分析。 一个原子中至少要有三个以上的电子才能产生俄歇效应。 铍是产生俄歇效应的最轻元素。 七、其它物理信号 除了上述六种信号外，固体样品中还会产生例如阴极荧光、电子束感生效应和电动势等信号，这些信号经过调制后也可以用于专门的分析。 八、相互作用体积与信号产生的深度和广度 1、相互作用体积 第五节、电子衍射 早在1927年，戴维森（Davisson）和革末（Germer）就已用电子衍射实验证实了电子的波动性，但电子衍射的发展速度远远落后于X射线衍射。 直到50年代，才随着电子显微镜的发展，把成像和衍射有机地联系起来后，为物相分析和晶体结构分析研究开拓了新的途径。 许多材料和粘土矿物中的晶粒只有几十微米大小，有时甚至小到几百纳米。 K为相机常数。如果K值已知， 即可由衍射斑点的R值计算出 晶面组d值： 多晶电子衍射谱的几何特征和粉末法的X射线衍射谱非常相似，由一系列不同半径的同心圆环所组成。 L及K不再是固定不变的，它们随所选用的电子衍射方法及操作条件而改变。 因此，有时也称为有效相机长度和有效相机常数。 （2）微束电子衍射 微束电子衍射是利用经聚光镜系统会聚的、很细的电子束对试样进行衍射。微束电子衍射的电子束直径最小可达50nm，因而不需要使用选区光阑就能得到微区电子衍射，也不会产生衍射与选区不相对应的情况。微束电子衍射的光路原理如图2－51b * X射线与物质的相互作用 第四节 电子与固体物质的相互作用 电子束与固体样品相互作用时产生的物理信号 原子对电子的散射可分为： 原子核对电子的弹性散射 原子核对电子的非弹性散射 核外电子对入射电子的非弹性散射 一、电子散射和背散射电子 当一束聚焦电子束沿一定方向射入试样时，在原子库仑电场作用下，入射电子方向改变，称为散射。 在弹性散射过程中，电子只改变方向，而能量基本无损失。