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南海奇美CDA系统介绍 主讲人：邹建兴 系統用途 本系统分两种气体：CDA、IA CDA 即Compressed Dry Air,主要用於晶片經水清洗後之吹乾用、製程設備驅動器動力、…..等其他用途。主要运用于无尘室。露点为-70℃ IA 即Instrument Air ,主要用于設備驅動器動力、气动阀，仪器仪表等用途。主要运用于一般区。露点为+2℃ 系统流程图 1.3 工作流程 压缩流程： 注：空压机出口压力为8.5KG 空气的标准状态：在温度T=20℃,绝对压力P=0.1MPa,相对湿度φ=65%时的空气状态。空气密度是1.185KG/M3，空压机、吸干机、过滤器单位一般写作Nm3/Min 压力露点：湿空气被压缩后，水蒸气密度增加，温度上升。压缩空气冷却时，相对湿度便增加，使其相对湿度达100%时的温度。 干燥流程： 注：冷冻式干燥机-----达露点温度+2~4℃，应用在IA 系统 吸附式干燥机-----达露点温度-70℃， 应用在CDA系统。 1.4 主要設備 本系统选用了 五台离心机（5700NCMH；出口压力8.5KG） 厂牌：ATLAS 两台螺杆机（2400NCMH；出口压力8.5KG） 厂牌：ATLAS 三台吸附式干燥机（6600NCMH；-70℃） 厂牌：PROAIR 三台冷冻式干燥机（2400NCMH； +2℃） 厂牌：EVERAIR 四组過濾器（前置、活性炭、后置、最终） 厂牌：EVERAIR 两个空氣儲槽 厂牌：上海申江 空氣壓縮機 离心空压机外型图： 离心空压机原理图： 螺杆空压机外型图： 螺杆空压机原理图： 冷冻式干燥机 冷冻式干燥机外型图： 冷冻式干燥机原理图： 冷干机原理说明 空气干燥原理说明 1、潮湿高温的压缩空气流入热交换器与从蒸发器排出来的冷空气进行热交换，使进入蒸发器压缩空气的温度降低。2、降温后的压缩空气流入蒸发器与制冷剂热交换，压缩空气中的热量被制冷剂带走，压缩空气温度急速下降，潮湿空气中的水份因为达到饱和温度迅速冷凝成水滴，经过气水分离器分离后，冷凝水从自动排水阀处排出。经干燥后的空气压力露点可达2℃。 3、降温后的冷空气流经空气热交换与入口的高温空气热交换，经热交换的冷空气因吸收了入口空气的热量提升了温度。同时空气还经过冷冻系统的二次冷凝与高温的冷媒再次热交换使出口的温度得到充分的加热，确保出口空气管路不结露。由于充分利用了出口空气的冷源，降低了机台冷冻系统的负荷确保了机台出口空气的质量。冷媒循环原理说明 开机后冷媒经压缩机压缩由原状态变为高温高压的蒸气。 高温高压的蒸气流入冷凝器及二次冷凝，其热量通过热交换被冷却介质带走后温度下降，高温高压的蒸气因为冷凝变成了常温高压的。 常温高压的液体冷媒流过膨胀阀，因为膨胀阀的节流作用压力降低，使得冷媒变成常温低压的液体。 常温低压的液体进入蒸发器后，因为压力的降低液态冷媒沸腾蒸发变成低压低温的气体，冷媒蒸发时吸收了大量压缩空气的热量，使得压缩空气的温度下降达到干燥的目的。 蒸发后的冷媒变为低温低压的蒸气，从压缩机的吸气口流回，被压缩机压缩后进入下一循环。 吸附式干燥机原理： 1、吸附行程 飽和濕度的壓縮空氣進入乾燥機入口，通過K1閥進入B1乾燥桶槽，分流器確保潮濕空氣均勻進入桶槽。 在潮濕壓縮氣流向上通過B1乾燥桶槽的同時，乾燥劑吸附水汽。乾燥的壓縮氣流經R1出口閥和乾燥機出口進入使用現場。 吸附行程由定時或露點控制（可選） 吸附行程是由下往上進行的 –2、再生行程 壓縮空氣在B1乾燥桶槽裏乾燥的同時，飽和濕度的B2乾燥桶槽進行再生. 再生開始前，乾燥桶槽B2逐漸釋壓到大氣壓力。 FRL系列吸附式乾燥機使用外部空氣進行再生行程。 再生鼓風機抽吸外部空氣到下面的加熱器，加熱到再生所需溫度。經再生鼓風機引起的溫升對加熱器電力需求有積極的影響。 鼓風氣流經K8和K6閥進入B2桶槽進行再生。乾燥劑吸附的水流蒸發，隨著鼓風氣流經K4和K9閥排入空氣中。 再生行程反向進行，這是能量優化，水汽沿最短路徑排入空氣中。 流經桶槽，因水汽蒸發，高溫的再生除濕空氣冷卻。再生空氣的出口溫度低於蒸發溫度（約為40－60°C）。 再生行程去除乾燥劑水份的同時，再生除濕空氣的溫度升高。再生行程隨著所需行程溫度的到達而結束。 再生行程與吸附行程的流向相反：從上向下 – 3、吸附再生行程图： 4、冷卻行程 為了避免切換後溫度和露點的峰值，利用鼓風氣流將乾燥劑存留的熱量（再生後）釋放出來。 冷卻