第十二章 半导体物性传感器.pptVIP

第一节 气敏传感器 湿 敏 传 感 器 色 敏 传 感 器 半导体色敏传感器是半导体光敏感器件中的一种。 它是基于内光电效应将光信号转换为电信号的光辐射探测器件。 但不管是光电导器件还是光生伏特效应器件，它们检测的都是在一定波长范围内光的强度, 或者说光子的数目。而半导体色敏器件则可用来直接测量从可见光到近红外波段内单色辐射的波长。这是近年来出现的一种新型光敏器件。  金电极与引出线烧结在一起, 为了减少测量误差, 在陶瓷片外设置由镍铬丝制成的加热线圈, 以便对器件加热清洗, 排除恶劣气氛对器件的污染。 整个器件安装在陶瓷基片上, 电极引线一般采用铂-铱合金。 MgCr2O4-TiO2陶瓷湿度传感器的相对湿度与电阻值之间的关系, 见图9-8所示。传感器的电阻值既随所处环境的相对湿度的增加而减少, 又随周围环境温度的变化而有所变化。  （2） ZnO-Cr2O3陶瓷湿敏元件ZnO-Cr2O3湿敏元件的结构是将多孔材料的电极烧结在多孔陶瓷圆片的两表面上, 并焊上铂引线, 然后将敏感元件装入有网眼过滤的方形塑料盒中用树脂固定而做成的， 其结构如图9 - 9所示。  ZnO-Cr2O3传感器能连续稳定地测量湿度, 而无需加热除污装置, 因此功耗低于0.5 Ｗ, 体积小, 成本低, 是一种常用测湿传感器。 二、 直读式湿度计 直读式湿度计电路, 其中RH为氯化锂湿度传感器。 由VT1、VT2、T1等组成测湿电桥的电源, 其振荡频率为250~1000 Hz。 电桥输出级变压器T2, C3耦合到VT3, 经VT3放大后的信号, 由VD1~VD4桥式整流后, 输入给微安表, 指示出由于相对湿度的变化引起电流的改变, 经标定并把湿度刻划在微安表盘上, 就成为一个简单而实用的直读式湿度计了。  * * 气敏传感器 湿敏传感器 半导体传感器 它是利用某些材料的电特性的物性变化来实现信息的直接变换的。半导体材料导电能力的大小，是由半导体内载流子的数目决定的。 以半导体为敏感材料，在各种物理量的作用下引起半导体材料内载流子浓度或分布的变化，通过检测这些物理特性的变化，就可反映被测参数值。 半导体传感器 定义：是利用半导体气敏元件同气体接触，造成半导体性质变化，借此来检测特定气体的成分或者测量其浓度的传感器的总称。检测气体中的特定成分（CO、CO2、甲醛、酒精、氧气、氢气等），将其变换成电信号输出。 应用场合：一般用于易燃、易爆、有毒、有害气体的检测和报警。 基本要求：1、对被测气体有高的灵敏度。 2、气体选择性好。 3、能够长期稳定工作。 4、响应速度快。 一、 气敏电阻的工作原理 气敏电阻的材料是金属氧化物, 在合成材料时, 通过化学计量比的偏离和杂质缺陷制成, 金属氧化物半导体分N型半导体, 如氧化锡、氧化铁、氧化锌、氧化钨等,P型半导体, 如氧化钴、 氧化铅、氧化铜、氧化镍等。为了提高某种气敏元件对某些气体成分的选择性和灵敏度, 合成材料有时还渗入了催化剂, 如钯（Pd）、铂（Pt）、银（Ag）等。 金属氧化物在常温下是绝缘的, 制成半导体后却显示气敏特性，其导电率随气体的吸附而发生改变。 通常器件工作在空气中, 空气中的氧和NO2 这样的电子兼容性大的气体, 接受来自半导体材料的电子而吸附负电荷, 结果使N型半导体材料的表面空间电荷层区域的传导电子减少, 使表面电导减小, 从而使器件处于高阻状态。一旦元件与被测还原性气体接触, 就会与吸附的氧起反应, 将被氧束缚的电子释放出来, 敏感膜表面电导增加, 使元件电阻减小。  该类气敏元件通常工作在高温状态（200~450℃）, 目的是为了加速上述的氧化还原反应。  例如, 用氧化锡制成的气敏元件, 在常温下吸附某种气体后, 其电导率变化不大, 若保持这种气体浓度不变, 该器件的电导率随器件本身温度的升高而增加, 尤其在100~300℃范围内电导率变化很大。显然, 半导体电导率的增加是由于多数载流子浓度增加的结果。  氧化锡、 氧化锌材料气敏元件输出电压与温度的关系如图所示。气敏元件工作时需要本身的温度比环境温度高很多。 气敏元件输出电压与温度的关系 因此, 气敏元件结构上, 有电阻丝加热, 结构如图所示, 1和2是加热电极, 3和4是气敏电阻的一对电极。 气敏元件的基本测量电路 电阻中气敏电阻值的变化引起电路中电流的变化, 输出电压（信号电压）由电阻Ro上取出。 因此, 常用来检查可燃性气体泄漏并报警等