洁净室运转与维护管理.doc

无 尘 室 操 作 维 护 手 册 无尘室洁净度之维持和控制，除了硬件设备之配和投资外，也需要良好的软件——管理制度来搭配，方能维持良好的洁净度。半导体洁净室内之微污染来源，经测试分析结果，作业人员占80%，通风15%，房屋建筑5%，实验数据显示，作业人员进出洁净室时尘埃有显著的增加，有人动作时，洁净度马上劣化，可见人是主要因素。 洁净室的污染源可分内、外污染源，外污染源包括了空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、风管材料以及一般性气体如氮、氧、空气、给水、溶剂等。而内污染源则包括了制程设备、工作人员、工具、加工制程、隔间材、工作桌、晶片盒。下图为微尘粒子的传送路径。 作业人员　　　　　　　　外来污染源　　　　　　　　　其它 　　　　　　　　　　　　空气媒介的微尘粒子　　　　　　直接传送接触 　　　　　　　　　　　　　　 　　直接接触污染　　　直接下降接触　工作表面接触　工作及设备接触 　　　　　　　　　　　　　　　　晶片产品 　　 对矽晶片而言，微尘粒子之附着。将造成积体电路线路的变形或短路，使晶片失去运作功能，因此微污染控制已成为洁净室管理的重要环节。下表为在自然环境所测的尘埃浓度，可为设计参考。 测量地点 微尘粒子数（个／ft3）≥0.5μｍ 大气层 ≤1000 田园地区（微风状况） 100000≤300000 住宅地区 1000000~2000000 办公室（工作中） 2000000~4000000 工业区 4000000 正吸烟的会议室 6000000 微污染控制，其基本原则有四：A。尘埃侵入之防止；B。发尘之防止；C。尘埃之不积留；D。微尘尽快排除。 部尘埃侵入之防止：洁净室适当保持正压（0.5mmAq）做好施工工程不漏气，人员设备、无料搬入洁净室前先作清洁擦拭等防尘动作，空气过滤器适当的管理和设置。 室内发尘之防止：隔间墙、地板等洁净室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不聚集、动作放轻、洁净衣的管理、使用洁净室专用器等。 室内尘埃之不积留：墙壁体应光滑无死角、洁净室需定期保养和清洁、制程设备四周应保留空间。 发生尘埃之排除：换气次数需足够，适当的空间布置以及污染源直接排气和空调的气流速度需适当。 以上之四点正是人、物如室的管理问题、实际的作业条件和工程管理关联之问题、室内之空调及清洁关系之问题，这些问题将于下节详述。 洁净室运转管理 　　洁净室运转管理，可做作业人员、原物料、设备及洁净室内所用东西等加以探讨，并依计划、实施、追踪、动作之循环步骤执行。 污染区域　　　清洁洗手　　　一次换鞋　　　缓冲室　　　戴口罩、手套及发套　　　更换洁净衣鞋　　　　脚踏粘垫　　　空气洗尘室　　　洁净室 作业人员之管理：前已提及在洁净室内污染来源80％来自作业人员，因此若能使作业人员以洁净室管理办法确实执行管理，而所有人员也均能配合实施，则污染源的产生可说已减少大半。现就进入洁净室的作业人员之管理和注意事项说明于下： 进入洁净室的人员必须要具备有达成高洁净度标准，并要维持最好状态之观念。 作业人员进入洁净室数目以维持最小限度为标准，并须依洁净室进出标准流程。 对作业人员必须经常讲解洁净室管理之资料，并加以教育训练，内容如洁净室管理之一般常识、洁净室之构造与功能、维护和清洁、安全对策、搬运器材之洁净管理与检查、洁净衣之穿脱、洁净室内之步行方式等，并经考核者才能进入洁净室工作。 在洁净室作业人员需经常保持自己各方面的干净与清洁。 在洁净室内之作业人员或其他人员之移动或动作均为发尘源，直接影响制程，同时亦会影响气流之扰动，为防止与控制上述情形，基本上需注意下列事项：A，不可在作业区域气流上方放置物品或作其他作业。B，不必要的动作尽量避免以防止乱流及发尘。C，与作业无关的私人谈话尽量避免。D，为控制发尘量，人员步行及作业要静静的进行。E，作业时要在洁净的工作台或工作桌进行。F，工具需收入有盖子的箱子或柜子中，并置放一定的场所。 作业人员需经常保持干净的手，除了常洗手、剪指甲外，手还要保养，以预防皮肤之剥离，男性需每天刮胡子。 洁净衣应经常保持着衣的状态，既不可翻面，并经常送洗。 下列人员不能进入洁净室 ａ．非工作人员或事先未得许可者，ｂ．未照规定穿洁净衣者，ｃ．刚作激烈运动流汗者，ｄ．吸烟或吃东西后，尚未经过半小时以上者 如有下列健康状态或体质者原则上不能进入洁净室，ａ．因日晒、湿疹而皮肤有问题者，ｂ．对化学纤维或有机化学药品有过敏行之体质者，ｃ．容易出手汗者，ｄ．比一般人皮肤表面容易剥离、头皮或体毛容易掉落者，ｅ．化妆及涂口红者，ｆ．有重大精神病、神经过敏或闭锁恐惧者，ｇ．因哮喘常咳嗽或喷涕者。 以下之物品不能带进洁净室，ａ．没有经过清洁的器材及物品，ｂ．纸箱等未经特别处理