传感器与自动检测技术演示教程第05章 电容式感器 58页.ppt

第５章　电容式传感器 差动的好处 灵敏度得到一倍的改善 线性度得到改善 电容值相对变化量为 (5-24) 略去高次项，则ΔC/C0与Δd/d0近似成为如下的线性关系： (5-25) 如果只考虑式（5-24）中的线性项和三次项, 则电容式传感器的相对非线性误差δ近似为 (5-26) 5.４ 电容式传感器的测量电路 5.4.1 调频电路 　　把电容式传感器作为振荡器谐振回路的一部分, 当输入量导致电容量发生变化时，振荡器的振荡频率就发生变化。 　　可将频率作为输出量用以判断被测非电量的大小，但此时系统是非线性的，不易校正，因此必须加入鉴频器，将频率的变化转换为电压振幅的变化，经过放大就可以用仪器指示或记录仪记录下来。如图5-11所示。 图中调频振荡器的振荡频率为 (5-29) 式中： C——振荡回路的总电容，C=C1+C2+Cx，其中C1为振荡回路固有电容, C2为传感器引线分布电容, Cx=C0±ΔC为传感器的电容。 图5-11 调频式测量电路原理框图 当被测信号为0时，ΔC=0，则C=C1+C2+C0，所以振荡器有一个固有频率f0, 其表示式为 (5-30) 当被测信号不为0时，ΔC≠0， 振荡器频率有相应变化， 此时频率为 (5-31) 调频电容传感器测量电路具有较高的灵敏度， 可以测量高至0.01μm级位移变化量。信号的输出频率易于用数字仪器测量， 并与计算机通讯，抗干扰能力强， 可以发送、 接收， 以达到遥测遥控的目的。 5.4.2 运算放大器式电路 由于运算放大器的放大倍数非常大，而且输入阻抗Zi很高, 运算放大器的这一特点可以作为电容式传感器的比较理想的测量电路。如图5-12示。 由运算放大器工作原理可得 (5-32) 如果传感器是一只平板电容，则Cx=εS/d，代入式(5-32)，可得 (5-33) 式中“－”号表示输出电压Uo的相位与电源电压反相。可见运算放大器的输出电压与极板间距离d成线性关系。 　　 运算放大器式电路虽解决了单个变极板间距离式电容传感器的非线性问题，注意条件：要求Zi及放大倍数足够大。为保证仪器精度， 还要求电源电压Ui的幅值和固定电容C值稳定。 图5-12 运算放大器式电路原理图 5.4.3 二极管双T形交流电桥 如图5-13示。 　　e是高频电源， 它提供了幅值为U的对称方波，VD1、VD2为特性完全相同的两只二极管，固定电阻R1=R2=R，C1、C2为传感器的两个差动电容。 图5-13 二极管双T形交流电桥 * * 主要内容 5.1 电容式传感器的工作原理和结构 5.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 5.3 电容式传感器的等效电路（自学） 5.4 电容式传感器的测量电路 5.5 电容式传感器的应用 5.1 电容式传感器的工作原理和结构 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器，如果不考虑边缘效应，其电容量为 （5-1） 当被测参数变化使得S、 d或ε发生变化时， 电容量C也随之变化。 　　如果保持其中两个参数不变，而仅改变其中一个参数， 就可把该参数的变化转换为电容量的变化，通过测量电路就可转换为电量输出。 　　电容式传感器可分为变极距型、 变面积型和变介电常数型三种。 图5-1 电容式传感元件的各种结构形式 5.1.1 变极距型电容传感器 图5-2 变极距型电容式传感器 当传感器的εr和S为常数，初始极距为d0时，由式（5-1）可知其初始电容量C0为 （5-2） 若电容器极板间距离由初始值d0缩小了Δd，电容量增大了ΔC，则有 （5-3） 图5-3 电容量与极板间距离的关系 在式（5-3）中，若Δd/d01时，则展成级数： （5-4） 此时C与Δd近似呈线性关系，所以变极距型电容式传感器只有在Δd/d0很小时，才有近似的线性关系。 另外，在d0较小时，对于同样的Δd变化所引起的ΔC可以增大，从而使传感器灵敏度提高。但d0过小，容易引起电容器击穿或短路。为此，极板间可采用高介电常数的材料（云母、 塑料膜等）作介质, 如图 5-4 所示，此时电容C变为 （5-5） 式中：εg——云母的相对介电常数，εg=7；  ε0——空气的介电常数，ε0=1；  d0——空气隙厚度；  dg——云母片的厚度。 图5-4 放置云母片的电容器 云母片的相对介电常数是空气的7倍，其击穿电压不小于1000