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光学系统像差剪切干涉图样仿真 　　摘要： 针对光学系统像差的判定问题，提出从理论上对各种像差的剪切干涉图样进行仿真分析。此分析依据波像差理论，结合剪切干涉在像差测量中的应用，建立波像差与干涉条纹的联系，采用计算机仿真手段对光学系统各种像差的典型剪切干涉图样进行了模拟，包括初级像差和二级像差。仿真结果表明，各种初级像差和二级像差均有其各自的典型剪切干涉图样，根据特征图样可以直接判定主要的像差种类。研究所得出的各种像差典型干涉图可为判断光学系统存在哪种像差提供参考与依据。 　　关键词： 几何光学； 初级像差； 二级像差； 干涉图样； 仿真 　　中图分类号： O 435.2文献标识码： Adoi： 10.3969/j.issn.1005 　　引言像差是光学系统中由透镜材料的特性或折射（或反射）表面的几何形状引起实际像与理想像的偏差。像差的存在，影响了光学系统成像的清晰度、相似性和色彩逼近等，降低了成像质量[1]。因此，在涉及到光学元件、光学系统的很多具体工作中都需要对像差进行测量判定，例如：光学系统的计算机辅助装调工作，需要对待调光学系统的像差进行实时检测[2]；光刻技术中，由于对光刻透镜的成像要求很高，也需要对成像透镜的像差进行检测[3]。在像差测量中，除了几何像差的测量之外，对波像差进行测量以评定光学系统成像质量是一种更好的方法[4]。而由于剪切干涉法反映“波像差”信息全面，易于目视估值，使用方便，因此，对各种像差的典型剪切干涉图进行仿真，将对判断被测系统具有哪些像差是有益的。像差典型干涉图的仿真多数是对初级像差进行的[5]，这对于普通光学系统来说，用初级像差描述其成像质量确已足够，但是对于需要接近甚至超过衍射极限的高性能光学系统来说，还必须考虑其高级像差的影响[68]。因此，需充分考虑初级像差和二级像差，给出更为完整的像差典型干涉图样仿真。1波像差函数的一般表达式波像差初级像差和二级像差的函数表达式为[9]：W（x，y）=a10（x2+y2）+a20（x2+y2）2+a30（x2+y2）3+a01x+a11x（x2+y2）+ 　　a21x（x2+y2）2+a02x2+a12x2（x2+y2）+a03x3（1）其中，x和y为入射光线与入射光瞳平面交点的坐标；a10（x2+y2）??轴向离焦、初级场曲、二级场曲的波像差之和；a20（x2+y2）2为初级球差、视场引起轴对称二级球差所产生的波像差之和；a30（x2+y2）3为孔径二级球差所产生的波像差；a01x为垂轴离焦量、初级畸变、二级畸变所产生的波像差之和；a11x（x2+y2）为初级彗差、视场引起二级彗差所产生的波像差之和；a21x（x2+y2）2为孔径引起的二级彗差所产生的波像差；a02x2为初级像散与二级像散所产生的波像差之和；a12x2（x2+y2）为视场引起非轴对称二级球差所产生的波像差；a03x3为视场引起二级子午彗差所产生的波像差。图1横向剪切干涉仪 　　Fig.1Lateral shearing interferometer2横向剪切干涉条纹横向剪切干涉利用被测波面自身实现干涉，如图1所示平行光横向剪切干涉仪，无需参考波，受环境影响小，因此应用广泛[10]。根据光干涉理论，及横向剪切干涉两干涉波振幅相等的特性，可得横向剪切干涉条纹图光强分布表达式为：光学仪器第35卷 　　第1期李莉，等：光学系统像差的剪切干涉图样仿真 　　I（x，y）=2A2（x，y）1+cosΔφ（x，y）（2）其中A为两相干光的振幅，Δφ（x，y）为相位差。而相位差Δφ（x，y）与光程差ΔW（x，y）有一定关系：Δφ（x，y）=2πλ?ΔW（x，y）（3）当剪切量足够小时（例如取为2 mm）有：ΔW=W（x，y）x?S=Pλ（4）其中，W（x，y）为被检波面（如式（1）所列），P表示干涉级次，λ表示光波波长，λ取值为632 nm。根据以上分析，可以通过包含不同像差的波面函数得到对应的横向剪切干涉条纹图。3各种像差的典型剪切干涉图样仿真及分析 　　3.1球差 　　3.1.1初级球差或视场引起的轴对称二级球差当系统存在的像差为初级球差或视场引起的轴对称二级球差或两者都有时，a20≠0，波像差表达式为：W（x，y）=a20（x2+y2）2（5）光程差为：ΔWx=4a20x（x2+y2）S=Px λ 　　ΔWy=4a20y（x2+y2）S=Py λ （6）取a20=80λ时，得到x方向和y方向的剪切干涉图分别如图2（a）、图2（b）所示。从图2可以看出，x方向和y方向的干涉条纹图是正交的完全相同的图样，说明了此时球差的轴对称性，另外，从光程差表达式也可以得出此时初级球差所对应的干涉条纹是一组与a20有关的三次曲线。当系统同时存在离焦时，则a20≠0且a10≠0，波像差表达式为：