单多晶硅现状.docVIP

简述多晶硅、单晶硅、石英玻璃坩埚市场之现状 丰 世 国 （徐州丰谷矿业有限公司） ? ????以信息网络为代表的信息革命浪潮，正在从各个方面推动着社会进步，改变着人民的生活方式，提高人民的生活水平，所有这些进步和发展，主要由于半导体硅片上所制成的微细集成电路芯片及由各种芯片和器件制成的各种电器所引起和推动的（半导体器件的95%以上使用硅材料制成的，硅片被称作集成电路的核心材料，硅材料的发展和集成电路的发展紧密相关）。另外，在现在国防和军事方面，电子信息化武装的武器装备在现在战争中发挥着越来越重要的作用，甚至起着决定战争胜负的关键性作用。所以，这一切的发展和需要，都是建立在半导体硅材料及各种化合物半导体材料的基础之上的。发达的国家国民经济总产值增长部分的65%与IC工业相关，而全球90%以上的IC工业都是采用硅片。国际社会普遍认为，微电子工业的发展状况标志着一个国家科技水平、现代化水平和综合国力强弱。为此，半导体材料和微电子技术的发展越来越受到各国政府和各界人士的关注，多国的政府对该行业都予以重点扶持，并斥之巨资发展信息产业。 ?二、多晶硅? ????多晶硅是生产单晶硅最关键的材料，世界先进的多晶硅技术一直有美、日、德三国的七家公司垄断着（据《2003年世界多晶硅生产与需求状况》统计数据显示，美国黑姆洛克半导体公司、德国瓦克化学电子公司、美国先进硅材料公司和日本德山曹达公司等四家企业年生产能力总和为21600吨，占世界总产能的75%，其中企业“自用”只占总产能的25%），各公司都有各自的技术秘密和技术特点，经过不断的研究、开发，发展了不同的生产工艺。目前以“改良西门子工艺”为主，其产能占总产量的77%，2003年世界多晶硅产量为23150吨，其中用“改良西门子法”生产的多晶硅19500吨，占总产量的84.23%。我国多晶硅原料95%以上依赖进口，我国的硅单晶材料发展迅速，但关键的多晶硅原材料的自给能力却很低，2003年国内只能生产了不到80吨的多晶硅，但却消耗了近1500吨的多晶硅，95%以上由国外高价进口，致使我国半导体硅单晶工业陷入了受制于外国的尴尬、被动局面。 ????多晶硅产量主要由系统能力、还原炉和副产物的利用方式所决定。国际上最大的还原炉有十几对至五十对硅芯的，多晶硅单炉产量5-7吨。在多晶硅的生产中，电力消耗是巨大的，其成本中电耗约占40%以上，因此降低多晶硅成本的关键在于降低电耗与物耗（硅粉、氯气、氢气），必须采用如下四种技术： ????（1）多硅芯大还原炉技术，提高产量并节电。 ????（2）还原炉的冷却由水冷改为热导油技术，然后将余热充分用到精馏、干法回收等工艺中去，降低综合电耗。 ????（3）还原尾气采用干法回收技术，将尾气中的氢气、氯化氢、三氯氢硅及四氯化硅全部分离并回收。 ????（4）副产品四氯化硅在一定温度和压力下氢化，生成三氯氢硅，精馏后返回还原系统使用。 ????（3）和（4）为降低物耗。此外，还可以利用精馏过程中产生的高、低沸物制造有机硅产品，达到综合利用的效果。 ????我国多晶硅工业起步于50年代，50年代中期实现产业化，70年代初曾盲目发展，生产厂多达20余家，但由于生产规模小，工艺技术落后，消耗大，成本高，绝大部分企业亏损而相继停产或转产，到2004年只剩下峨眉山半导体材料厂一家生产，产能为100t/a，2004年产量不足80吨。目前，我国2000年在四川峨眉山半导体材料厂基础上兴建一条年产1000吨的多晶硅生产线；洛阳单晶硅公司和北京有色金属设计院合资设立洛阳中硅公司，正在建设年产300吨的多晶硅生产线，项目完成后，我国多晶硅的年产能力可达1300-1400吨。 ????我国集成电路的增长、硅片生产和太阳能电池的发展，大大带动了硅材料的增长，2004年我国多晶硅需求量为2280吨，2005年需求量为2882吨，到2010年预计需求5000吨。据太阳能电池生产企业提供的数据统计，每生产1M太阳能电池需耗12-14吨多晶硅，太阳能电池的发展将大大带动多晶硅需求的增加，有关专家预测2010年我国仅用于太阳能电池的多晶硅就需4365吨，到2015年可需求16200吨。2003年世界太阳能电池产量为744MW，共消耗多晶硅8700吨，2004年太阳能电池产量为1000MW，共消耗多晶硅12000吨；2003年全世界多晶硅总产量为23150吨，2004年总产量为27000吨，比2003年增长了16.63%。 ????国外多晶硅产量完全可满足集成电路用直拉单晶硅和电力电子器件用区拉单晶硅的的需求，直拉单晶硅商品所需的多晶硅都是直接装炉的免腐蚀和清洗料，其纯度可达7-11个“9”。 ????从我国多晶硅发展的现状看，其生产技术、制造成本、产品产量和质量与世界水平相比差距之大