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三氯氢硅合成 编写人：陈彬 概述 概述 目前，国内外应用最广，最主要的生产多晶硅的方法，以改良西门子法即以三氯氢硅为原料和高纯氢气在（CVD）还原炉硅芯中沉积。因此三氯氢硅是改良西门子法生产多晶硅的主要原料。硅粉和氯化氢的反应很复杂，基本上的产物有 SiHCl3, SiCl4低沸物、高沸物及金属氯化物等 1.1 三氯氢硅的性质 三氯氢硅（SiHCl3）又称三氯硅烷或硅氯仿。三氯氢硅是无色透明、在空气中强烈发烟的液体。极易挥发、易水解、易燃易爆、易溶于有机溶剂。有强腐蚀性、有毒，对人体呼吸系统有强烈的刺激作用。其物理化学性质见表1。 表1 TCS物理化学性质 1.2 四氯化硅的性质 四氯化硅（SiCl4）是无色透明、无极性、易挥发、有强烈刺激性的液体。水解后生成二氧化硅和氯化氢。可与苯、乙醚、氯仿及挥发油混合；与醇反应生成硅酸酯。因其易水解，并生成氯化氢，故它具有强腐蚀性。 四氯化硅的性质 第二节 三氯氢硅合成反应原理 三氯氢硅合成反应是一个放热反应，所以应将反应热及时导出，保持炉内反应温度相对稳定，以提高产品质量和收率。 化学反应（主反应）： 副反应: 主要的副反应： 随着反应温度的升高，SiCl4的生成量也随之增加。由化学反应式可以看出，硅粉和氯化氢的反应是