金缸建浴及操作要点.docVIP

ENIG建浴及操作要点 槽體試漏、配管試漏、加熱系統、冷卻系統、打氣系統及搖擺、振動狀況確認. 槽體試漏 將槽中加滿水, 啟動循環泵循環, 加熱的槽體還需升溫至操作溫度, 觀察是否漏液. 槽中的水需放置10小時以上, 再觀察是否漏液. 方法為:一是將槽体下方水擦干,放置后觀察地面是否有水滲漏;二是用標簽標示液位, 放置后觀察液面是否有下降). 配管試漏 1).將各配管充滿水, 加熱的槽体還需加熱,開啟循環泵(循環泵中須裝有過濾棉芯). 2)運作3小時以上,觀察各接口.彎頭等地方是否有漏液. 加熱系統 需考察各溶液槽加熱至操作溫度時顯示器溫度變化幅度,特別是鎳槽. 加熱應注意各溶液槽升至操作溫度的時間不可過快或過慢. 冷卻系統 冷卻用材料, 特別是活化槽, 不能用金屬制品. 冷卻水溫度應在10℃左右.另須檢查冷卻水管路是否有漏液. 一般冷卻時間須控制在2小時以內.(從室溫冷卻至25℃) 空氣壓縮系統 觀察其是專業壓縮氣機, 還是中央壓縮氣系統, 中央壓縮氣系統是否有污染. 各槽打氣狀況. (除油槽,活化槽,鎳主槽,金槽無需開打气) 各槽打出的气需均勻. 搖擺系統 搖擺速度0.5-1m/min. 振動裝置 間斷式气缸振動. 各溶液缸及微蝕後水洗缸建議裝振動裝置.,特別是鎳缸. 振動頻率一般控制在每分鐘8-10次. 行車程序確認 各水洗槽時間30”-60”, 不可過長. 微蝕槽時間1’-1’30”, 不可過長, 活化時間一般在2’左右,(最長3’). 活化後至入鎳缸, 水洗總時間不可超過3分鐘. 鎳後至入金缸, 水洗總時間不可超過3分鐘. 吊籃從各溶液槽吊出後需有滴水時間(一般5-10秒). 從二級水洗後吊入各溶液槽需有滴水時間. 溫度顯示器之設定及校正. 設定各溶液槽溫度.(將各溶液槽溫度設定至操作溫度). 校正各溶液槽溫度. 將各溶液槽用水銀溫度計測量其溫度,然后觀察溫度顯示器顯示溫度數據是否与測量溫度一致,否則溫度顯示器需作調校. 挂架 一般挂架采用Telflon包覆, 無氣泡, 光滑. 勿用PVC樹脂包覆, 易破損. 挂架使用一段時間后會沉上鎳金,需定期剝離(使用1:1濃硝酸) 各槽的體積確認 擬用尺量方法. 鎳缸采用加NPR-4A方法: 將鎳缸加水至標准液位,加入NPR-4A 2升,開啟循環泵循環,升至操作溫度, 循環30分鐘以上,分析Ni2+含量. 根據Ni2+含量反推出鎳槽體積. 鎳缸、金缸溫度均勻性測試,循環量測定 將最表層、最中層、最下層三層分別用探头温度计測量九個點温度, 觀察數值差別, 此數值差別在0.5℃以內, 表示温度均勻性較好(注:升至操作溫度,恆溫時測定), 否則需檢查循環狀況(包括循環量及管路配置). 测量镍缸及金缸循环量. 鎳自動添加系統加藥量設定及校正, “D”劑額外補加系統 鎳缸中每次補加量一般設在0.08-0.09g/L左右, 故此添加量需根據槽體積確定. 調整A.B.C.D添加柱的加藥量. 測量D劑計量泵流量. 各槽清洗 各溶液槽先用鹼浸泡(30-50g/L NaOH)10小時以上,再用酸浸泡(3-5% H2SO4)4小時, 化學鎳缸還需用1：1 HNO3鈍化12小時, 同時各儲存槽亦進行酸鹼清洗, 化鎳儲存槽亦需用HNO3鈍化, 各加藥系統先用鹼浸泡, 再用酸洗. 以上所有槽最後用自來水及純水清洗至乾淨, 清洗過程中需打開循環過濾泵,(可用石蕊試紙檢測) 過濾棉芯 若采用進口過濾棉芯(此棉芯已處理好)可直接使用. 若采用國產過濾棉芯, 一般經80℃以上熱水浸泡2hrs以上. 過濾棉芯使用狀況:活化槽.鎳槽.金槽使用1微米孔徑的過濾棉芯,其它槽使用5微米孔徑的過濾棉芯. 十一.水質狀況 1.DI水要求電導率在5μs/cm以下, pH在5-8以內; 2.自來水需經過濾,最好進行軟化處理. 十二.其它注意事項. 1.線路板上的Sn/Pb須完全剝離干淨. 2.沉鎳金板在沉鎳金之前最好使用#1000刷輪輕刷,注意刷幅及水壓. 3.各水洗槽時間控制在30-60秒,進水量2TO/hr以上,水洗槽中水須每天更換一次,水洗槽槽壁須每周刷洗1-2次. 4.鍍后立即水洗烘干,待板子冷卻后才可疊板,避免与其它制程共用水洗及烘干机. 5.烘干机之水洗槽及滾輪需經常洗凈. 6.鎳缸防析出整流器控制電壓0.9V,防析出棒不可与槽壁接触,鎳缸加藥區需有充足的攪拌,帶出損耗須用M劑及A劑補充,鎳缸補充須少量多次. 7.金回收槽須過濾及定期更換 十三.各缸成份控制條件. 缸名稱 分析項目 控制範圍 標準 分析頻率 除油缸 ACL-007 80-120ml/L 100ml/L 1次/班 微蝕缸 微蝕速率 20-80μ〞/min 1次/班 過硫酸鈉 80-120g/L 100g/L 1次/班 硫酸 1