硅烷系统安全规范.docVIP

硅烷系统硅烷的性质硅烷在常温常压下为具有恶臭的无色气体。在室温下着火，在空气或卤素气体中发生爆炸性燃烧。即使用其它气体稀释，如果浓度不够低．仍能自燃。硅烷在氩气中含2%、氮气中含2.5%、氢气中含1%时，它仍能着火。硅烷浓度在小于1%时不燃，大于3%时自燃，1%～3%时可能燃烧。毒性：硅烷的主要危险来自它接触空气可以自发燃烧的能力和它的毒物学的性质。接触硅烷会导致眼睛的刺激。吸入会导致头痛、恶心、黏膜和呼吸道的刺激。尽管据报道硅烷有讨厌的气味，不能把它作为危险浓度的气体存在的警告性信号。在职业环境里暴露于硅烷的阈值极限的8小时时间权重平均值(TLV-TWA)为5 ppm，这已经被美国政府工业卫生学者会议(ACGIH)所确定，并被美国职业安全和健康管理局（OSHA）所采用。四小时吸入Lclo (鼠) 为9600 ppm已经被确定。硅烷燃烧生成可以导致呼吸道刺激的氧化硅。可燃性：硅烷是自燃压缩气体。这意味着它在空气中自己点燃。硅烷的泄露会导致起火或可能在空气中生成爆炸性混合物。一些非常少量的泄露不会发出可见的火焰，但可以通过在泄[wiki]露点[/wiki]氧化物的积累来发现。有时候由于氧化物的积累（褐色或白色粉末），这种大小的泄露会自己堵住。燃烧的主要副产品是二氧化硅（沙）。大火会产生二氧化硅的浓烟。用水雾可以消灭浓烟，但一定要注意不要熄灭任何的硅烷起火。只能通过切断流向火焰的硅烷来灭火。如果在硅烷气流被切断之前熄灭了硅烷起火，硅烷会聚集起来，导致爆炸。硅烷的可燃极限是非常与众不同的，稀释剂会扩大可燃范围，而不是缩小范围。列出的可燃极限的下限是2%，但试验显示，当引入不同的稀释剂时可燃范围远远低于这个浓度。周围环境的空气温度和湿度也对可燃极限有影响。一些文献指出硅烷燃烧时是“凉”火焰。同上面一样，不能完全相信这种观点。试验显示，硅烷燃烧的火焰或者不能点燃纸张，或者其强度可以熔化象黄铜和铝一样的金属。Air Products推荐把所有的硅烷混合物视作易燃物。硅烷气体气瓶颜色标记规范 瓶色：银灰色 字样：液化甲硅烷 字色：大红色硅烷的运输及储存1、充装硅烷的气瓶可以是碳钢、不锈钢、和铝合金瓶，符合相应气瓶标准的规定。2、气瓶瓶阀以不锈钢为材料，反螺膜片式气瓶阀。禁止以QF-2型、PX-32型和QF-30A型瓶阀作为硅烷气瓶瓶阀。3、硅烷最高充装压力应低于或等于8.5MPa4、硅烷容器，禁止用于非硅烷气体作业，不得混入其他气体，特别是氧化性气体。 5、钢瓶应该直立固定储存。储存区域应该是干燥、凉爽和通风良好。要保护钢瓶，防止极端温度和天气的影响。储存时，阀门保护帽和阀门排气口密封应保持在适当的位置。储存地应远离人员经常出入的地方和紧急出口。把空钢瓶和满钢瓶隔离开。作为惯例，至少每周一次用眼睛检查钢瓶是否有泄漏或损坏的任何迹象。如果需要去掉钢瓶保护帽或阀门排气口密封来做另外的检查，应该由穿戴着适当的PPE的两人小组来完成。6、禁止拖拉、旋转或滑动钢瓶。使用设计用于钢瓶移动的合适的手推车。禁止试图提着钢瓶帽举起钢瓶。使用时一直固定钢瓶。在去掉阀门排气口密封之前，确保钢瓶阀门关闭。由于排气口密封可能被加压，去掉排气口密封时一定要小心。使用减压调整器或单独的控制阀来安全地从钢瓶中提取气体。禁止允许钢瓶任何部分的温度超过125oF (52oC)。高温会导致钢瓶损坏和/或会引起钢瓶内容物排出的减压装置的过早失效。如果用户在操作钢瓶阀门时遇到任何困难，停止使用，联系供应商。当使用“Y”钢瓶时，不要把它从它的运输刹车上移下来。使用减压调整器或单独的控制阀来从钢瓶中提取气体。禁止钢瓶的任何部分接触火焰或局部热量。使用活动套筒扳手来卸开过紧或生锈的帽子。只在通风良好的地方使用。总是按照压缩气体协会有限公司手册P-1：“容器内压缩气体的安全操作”来储存和操作压缩气体。硅烷钢瓶对存放地点的要求存放硅烷的库房要远离热源和火源，远离居民集中的生活区域。库房的地面、屋顶、四周的围墙具有良好的阻燃效果，配备良好的通风设施。存放硅烷的环境温度不应高于40℃。硅烷有较强的还原性，库房严禁存放强氧化性的气体，存放时，硅烷应与其他危险气体、腐蚀性物质隔离。库房应配备良好的灭火器材，不得使用卤素灭火剂。系统设计室外分配系统：1、硅烷分配系统的首选设计是一个带有遥控的自动化的外部钢瓶并联或配送架系统。手动系统需要进行安全操作的评估，对于硅烷系统应该考虑自动遥控操作。遥控操作的目的是在流程开始期间确保人员不会有暴露于硅烷的可能。还可以通过使用视频监视器来获得遥控能力。按照当地的建筑物和火灾规定，配送系统应该坐落于远离建筑物、街道和地界线的隔离区域。在装置的两边可以使用防火墙。防火墙还要允许装置周围的通风，提供一些额外的暴露保护。配送系统的上方应该有屋顶或遮蓬；但是必须采取措