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真空系统组成元件 真空系统组成元件 真空泵 真空测量与控制器件 1. 真空阀门 2. 连接导管 3. 捕集器 4. 其它组成元件 1 真空阀门 1.1 概述 1.2 真空阀门的典型结构 1.3 真空阀门的设计 1.1 概述 真空阀门： 在真空系统中，用来改变气流方向，调节气流量大小，切断或接通管路的真空系统元件。 真空阀门的型号编制方法国家专业标准作了规定,可查阅有关标准。 JB/T7673-1995 真空设备型号编制方法 JB/T6446-2004 真空阀门 例：GDQ-J320 真空阀门在系统中的作用 开关气路: 控制气流流动路线 控制气流大小，调节真空度： 定量充气： 真空阀门的分类 通常按阀门的职能、结构型式、驱动方式、材料和用途进行分类，见表1. 1.2真空阀门的典型结构 隔膜式真空阀 利用阀杆将弹性体薄膜紧压在阀座上用来隔断气路。 如图3所示,转动手轮可带动阀杆上、下移动,使隔膜离开阀座打开阀门或使隔膜紧压在阀座上关闭阀门。 此种阀门如采用丁晴橡胶隔膜,适用于前级和预抽管道上及温度为-25～80℃的非腐蚀性气体。如采用氟橡胶隔膜,可用于高真空系统,使用温度范围为-30～150℃。 真空球阀 图4所示是真空球阀的结构,该阀中的密封机构是由两个环状弹性体紧压于一个金属球表面构成。金属球上有一个大穿孔,借助于手柄转动金属球使穿孔改变方向,即可接通或切断气路。金属球轴杆与阀体间的密封采用O形密封圈密封。 真空蝶阀 蝶阀的结构比较简单,如图5所示。阀板的边缘上嵌有O形密封圈,阀板靠螺栓固定在传动轴阀杆上,使阀杆带动阀板转动,当阀板上的密封圈与阀体紧密接触时即实现了阀门的关闭,从关闭位置、阀板再转动90°时,阀门即完全打开,该种阀门的主要优点是体积小,结构简单。 插板阀 图6和图7是插板阀的两种结构型式。弹性体密封圈是嵌在阀体上。转动手柄即可打开或关闭阀门。图6的插板阀关闭时是靠限位块的斜面压紧阀盖,进而压紧密封圈。图7的插板阀是靠链板压紧实现阀口密封。 挡板阀 图8是一种挡板阀的结构。该阀通过阀盖的开启和压下来实现管路的接通和截止。 翻板阀 图9、10、11是三种不同结构的真空翻板阀。它们都是用压缩空气为动力源。在阀门打开或关闭的过程中,阀板的运动有一个翻转过程,能翻转一个角度。在图10的结构中,靠滚轮将阀盖挡翻,在这种结构的阀门中,阀盖不能翻转90°。图9的结构,阀盖的翻转靠四连杆机构实现,阀盖能实现90°翻转。图11的翻板阀是蚌线机构。这种阀门结构简单,总高度低,阀板能翻转90°,是我国1971年首创的。在翻板阀中,阀板翻转90°时,流导较大。 电磁阀 真空阀门的驱动方式为磁力驱动的即为电磁阀。电磁真空阀的密封机构与挡板阀相同,如图12所示。平时,电磁阀的阀盖靠弹簧压紧封住管路通道,需要开启时,将电磁线圈接通电流,磁力即吸引衔铁,带动阀盖,将阀门打开。有的电磁真空阀设计成带充气的,称为电磁真空带充气阀,是专门安装在油封式机械泵入口管路上的专用阀门。阀门与泵接在同一电源上,泵的启动与停止直接控制了阀的开启与关闭。当泵停止工作或电源突然中断时,阀能自动将真空管路封闭,并将大气通过泵的进气口充入泵腔,避免泵油返流污染真空系统。 针阀 图13是一个超高真空针阀。针阀是一种微调阀,其阀塞为针形,主要用作调节气流量。微调阀要求阀口开启逐渐变大,从关闭到开启最大能连续细微地调节。针形阀塞即能实现这种功能。针形阀塞一般用经过淬火的钢制长针,而阀座是用锡、铜等软质材料制成。阀针与阀座间的密封是依靠其锥面紧密配合达到的。阀针的锥度有1∶50和6°锥角两种,锥表面要经过精细研磨。图中的阀杆与阀座间的密封是靠波纹管实现的。 超高真空阀 通常的高、低真空阀门,密封垫圈的材料为橡胶,不能承受高温烘烤。因而不能使用在超高真空设备上。能使用在超高真空设备上的超高真空阀门必须满足:(1)能承受高温(400～450℃)多次烘烤;(2)放气量小,气密性好;(3)重复性好;(4)流导大。 图14是超高真空阀门的一种。其主要部件是无氧铜阀盖,不锈钢阀体和传动导向机构。阀座刀口型式为直角,挡板起保证阀门重复性的作用,即刀口在阀盖上压出的刀痕每次都能重合 玻璃真空活塞 玻璃活塞由开有孔的锥形芯子及带有连接管的外套组成,芯子与外套之间的接触面是磨光面,其间涂以真空封脂以取得密封。气体的通路由芯子上的孔和所对准的连接管决定,转动芯子便可控制气体通路。因用封脂密封,芯子与外套之间就不会漏气。 图15是典型的玻璃真空活塞。活塞按其连接管道的数目分为二通、三通或多通活塞。二通又分为对通和直角通。在图15(b)中,(2)、(3)两种较(1)的型式密封更好,因在使用中有大气压力将锥芯往内压。 无油玻璃真空阀 为避免真