纳米材料学科化学制备.pdf

MEMS与纳米技术之纳米技术V 纳米材料制备 ——纳米材料的化学制备 王海容 whairong@mail.xjtu.edu.cn 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, XJTU 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University MEMS与纳米技术之纳米技术V 纳米材料 纳米材料的定义和分 类 纳米材料制备 纳米材料结构 化学法 纳米材料的特性 纳米材料制备 纳米材料应用 纳米加工 电子束曝光 纳米测量 聚焦离子束加工技术 透射电子显微镜 纳米压印 扫描电子显微镜 扫描隧道显微镜 X射线衍射分析 原子力显微镜 扫描探针显微镜 超精密加工 … … 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University MEMS与纳米技术之纳米技术V 化学法有沉淀法、溶胶-凝胶法、微乳液法、溶液热反应法（水 热法，非水溶液热合成 ）、溶液蒸发法、溶液还原法、电化学 法、光化学合成法、超声合成法、辐射合成法、模板合成法、有 序组装技术、化学气相反应法(包括激光诱导化学沉积(LICVD)、 等离子体诱导化学气相沉积（PICVD）、热化学气相沉积等)、火 焰水解法、超临界流体技术、熔融法等。 化学方法主要用于化合物尤其是多元化合物纳米粒子的制备，具有 使用设备简单、反应条件比较缓和、原料广泛等特点。 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University MEMS与纳米技术之纳米技术V 一、 沉淀法 沉淀法包括直接沉淀法、均匀沉淀法和共沉 淀法。 直接沉淀法:进行沉淀操作得到所需的氧化 颗粒。 均匀沉淀法:在金属盐溶液中加入沉淀剂溶 液时，不断搅拌，使沉淀剂在溶液里缓慢 生成，消除了沉淀剂的不均匀性。 共沉淀法:是在混合的金属盐溶液中添加沉 图1 用草酸盐进行化合物沉 淀剂，即得到几种组分均匀的溶液，再进 淀的合成装置 行热分解。图 1是一个共沉淀的例子 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision