扫描电子显微镜和其.PDF

扫描电子显微镜及其 在高聚物结构研究中的应用 • Scanning Electron Microscope 主要内容 • SEM工作原理 • SEM仪器的结构 • SEM的放大倍数和分辨本领 • SEM图像的衬度及其调节 • SEM的优缺点 • SEM在高聚物结构研究中的应用 SEM工作原理 入射电子束 特征X射线 背散射电子 阴极荧光 俄歇电子 二次电子 吸收电子 束感生电效应 透射电子束 高能电子束与固体样品的相互作用 扫描电镜用来成像的物理效应 扫描电镜用来成像的物理效应 SEM工作原理 二次电子 M 背散射电子 L K 特征X-射线 + - hv = E - E M L 背散射电子、二次电子、特征X-射线的产生原理 SEM工作 背散射电子提供的结构信息 原理 背散射电子提供的结构信息 背散射电子——组分变化、晶体缺陷、表面起伏 背散射电子 入射电子样品的原子核——弹性碰撞 （无或微小能量变化）——弹性散射—— M 偏转（散射）角度大—— 与原子序数 L 1 1 K 和入射电子能量（速度）有关 弹性 + 入射电子样品的电子——非弹性碰撞 散射 1 - （入射电子与样品中的电子发生能量传 -  递，有较大能量变化）——非弹性散射— 非弹性 2 —偏转角度2小 散射 背散射电子——与原子序数相关——对样品组分变化敏感——特别适合研 究聚合物/无机填料共混体系、金属或碘掺杂聚合物与常