基于FPGA光栅相位误差补偿原理与系统设计.docVIP

基于FPGA光栅相位误差补偿原理与系统设计 　　摘要：光栅测量技术是以对光栅形成的莫尔条纹计数为基础的高精度测量技术。本文基于光栅传感器信号的特点及信号细分技术提出了相位误差补偿原理，以此为基础，设计了以FPGA为处理核心的光栅相位误差补偿系统，使两路非正交的信号经过相位补偿实现正交，提高光栅的细分准确度,增强条纹测量技术的环境适应性和抗干扰能力。 　　关键词：光栅测量 莫尔条纹 相位补偿 　　中图分类号：TP216 文献标识码：A 文章编号：1007-9416(2011)09-0212-02 　　 　　光栅莫尔条纹测量技术是一种广泛应用于检测领域的高精度测量。近年来随着超精加工技术的发展,条纹测量技术的发展极为迅速,成为高分辨率测量的重要手段。为进一步提高光栅测量的分辨力和细分精度,人们提出了许多条纹细分方法,如正切细分法、比例幅值法、双阈值法、构造函数法、脉宽调制法等。然而,上述条纹细分方法都要求两路信号必须正交，否则会产生细分误差。单纯依靠制造、装配和调试来提高光栅测量的精度不仅代价昂贵，而且难度也越来越大。要解决这些问题，必须采用误差补偿的方法[1][2]。 　　1、传统莫尔条纹细分方法 　　当标尺光栅与指示光栅相对平行移动时，在四个空间相位差为90°的光电元件上依次产生相差90°的电信号、、和。将、和、分别两两相减，消除信号中的直流电平，得到两路相位差为90°的正弦信号，其绝对值表达式为和。波形如图1所示。当两路信号正交时，在一个周期内相交于四点，且四个交点的幅值均为。如果以这四个交点和信号过零点为界，一个信号周期可等分为8个区段，每个区段所覆盖的相位为π/4。这是传统细分法对条纹进行准确细分的前提条件。 　　2、非正交信号相位补偿原理 　　当两路信号不正交时，信号波形变为和，进一步细分将产生误差。如图2所示。与正交时的情况不同，四个交点分裂成两组，幅值分别为和。此时若再以四个交点和信号过零点为界将一个信号周期分成8个区段，则每个区段覆盖的相位将不完全相同，其中1、2、5、6区段覆盖的相位为，而3、4、7、8象限覆盖的相位为，且有。两路信号间相位差发生变化时，信号波形交点的位置相应地上升或下降，和的值也增大或减小，从而使和发生变化。光电探测器只能探测条纹的强度变化，不能直接探测条纹的相位变化，要准确地得到相位，首先必须准确地得到幅值和，即跟踪信号交点。由于交点幅值和在一个周期内具有一一对应关系，理论上只需测量或便可得到相位差，但为保证误差补偿的精确与及时，可通过和分别进行计算补偿。此时，或。 　　对信号交点的跟踪，首先，对两路信号进行高速同步采样，然后根据表1判断出信号采样点所处的区段，并与缓存下来的相邻前一个采样点所处的区段进行比较，如果采样点所处的区段发生了跳变，说明两路信号刚经过交点，此时可将两路采样数据的平均值缓存作为交点幅值。 　　3、基于FPGA相位补偿模块设计 　　整个补偿系统可视为一个数字信号处理系统，可以采用单片机、DSP或FPGA为系统的控制核心。以FPGA为处理核心，不仅可以提高系统的实时性，还增加了系统的可扩展性、可维护性和升级性能[3][4][5]。根据需求，芯片选用ALTERA的Cyclone系列EP1C20。相位补偿模块处理过程包括正余弦信号的周期计算，最大值寻找，相位偏差计算和补偿后信号输出的功能。 　　3.1 信号周期计算 　　两路信号的相位虽然存在偏差，但周期是基本一致的，从两个RAM中读取数据都从地址0开始，通过实时比较两路信号的大小，当信号偏差小于5时，记录这一段数据所在的位置序列1，当找到第二个信号偏差小于5的数据位置序列2后，根据两个序列分别近似计算出两路信号同值点D1和D2，则信号的周期就是Period=2*（D2-D1）。如图3所示。图中D1，D2两个脉冲就是相近值数据段对应的位置，通过计算得到信号周期为1025，实际存储的数据周期是1024。计算完信号周期后置周期计算完成标志，进入最大值寻找流程。 　　3.2 信号最大值点寻找 　　检测到信号周期完成标志后，开始最大值点寻找，在已知的信号周期内，分别寻找两路信号的最大值点，最大值点不是唯一的点，在一定的误差范围内会有连续的一段数据，根据这一段数据的统计，分别计算出两路信号最大值点所在位置，如图4所示。两路信号的最大值所在点为08Fh和101h，相差为114点，根据计算所得的周期可知，两路信号的最大值所在点之间应该是Period/4,说明找到最大值点也即找到了信号之间的相位差。 　　3.3 相位偏差计算与信号相位补偿实现 　　根据信号最大值所在点和信号周期，可以计算出两路信号之间的相位偏差为256－114＝142，即8Eh,通过调整信号RAM的读取地址，来完成信号之间的相位补偿，图5