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基于DMD高速高精度空间光调制器 　　摘 要：现有主流商品化的空间光调制器（Spatial Light Modulator， SLM）基于硅基液晶[1]（Liquid Crystal on Silicon， LCoS）技术，存在着调制精度低、速度慢、幅度和相位无法独立调制等问题。文章中提出的基于数字微镜阵列器件[2]（Digital Mirror Device， DMD）和共轴光学系统实现的空间光调制器克服了上述存在的问题，并且提高了其光强耐受度。 　　关键词：空间光调制器；高速高精度空间光调制；数字微镜阵列 　　中图分类号：TN29 文献标志码：A 文章编号：2095-2945（2018）05-0026-03 　　Abstract： Spatial Light Modulator（SLM）， a commercial spatial light modulator available at present， is based on Liquid Crystal on Silicon（LCoS）. There are some problems such as low modulation precision， low speed， and the improbability of independent modulation of amplitude and phase. This paper puts forward the idea that the spatial light modulator is achieved based on Digital Micromirror Device（DMD） and coaxial optical system， which overcomes the above-mentioned problems and improves its light intensity tolerance. 　　Keywords： Spatial Light Modulator（SLM）； high-speed and high-precision spatial light modulation； Digital Micromirror Device （DMD） 　　引言 　　空间光调制技术是信息光学、全息成像、高精度显示、显微成像等领域的关键核心技术之一。空间光调制器能够对入射的空间光实现幅度或者相位方面的调制。调制信息通常以数字或者模拟的电信号形式加载在空间光调制器件上。现有的成熟的商品化的空间光调制器基于硅液晶（Liquid Crystal on Silicon， LCoS），严重依赖器件材料的特性，而这些材料主要是复杂有机化合物，对工作环境要求较为苛刻，也受环境影响较大。此外，现有的空间光调制器存在着调制速度慢、调制精度低以及低光强耐受度等缺点，无法满足在信息处理领域的技术需求。 　　针对现有的空间光调制器件存在的缺陷，本文提出一种基于DMD器件和共轴光学系统的高速高精度空?g光调制器及调制方法，能够摆脱材料对调制精度和调制速度的约束，实现较高的调制精度和调制速度[3]。 　　DMD器件由大量（典型产品是阵列）可倾斜的反射微镜组成，每一个像素上都有一个可以转动的微镜；每个微镜都有±10°～15°的偏转角，分别对应“打开”状态和“关闭” 状态，即只能对入射光实现“有”或“无”的二进制调制。 　　1 系统原理 　　DMD器件上的镜片被分成多组由微镜片组成的“超像素”，通过调整DMD器件与入射光的夹角，使得每个“超像素”单元里的微镜片上的入射光的相位均匀分布在[0，2π）。经DMD反射的光线通过4f共轴光学系统的FFT透镜以及小孔表示的低通滤波器。空间低通滤波器过滤了反射的高频的光线，最终输出的是“超像素”单元中每个独立像素的矢量相加的和。 　　1.1 DMD器件偏置 　　假设入射光沿4f系统光轴入射至DMD器件，通过使DMD相对入射光进行三维旋转，从而使得DMD上的各微镜入射光的相位存在周期性差异。如图1所示。 　　在图1，（X，Y，Z）为光学系统坐标系，其中Z轴为光轴；（U，V，W）坐标系为DMD器件的坐标系，U和V轴为DMD器件的像素延展方向，W轴垂直于DMD器件表面指向DMD器件反射光的方向。在图中DMD器件坐标系原点与光学系统原点重合，两套坐标系各轴间存在的夹角分别为α、β和γ。 　　DMD器件与光轴之间不是垂直的，而是存在一个夹角α。由于夹角α的存在，使得入射光在DMD器件上每N个像素即相差λ的路程差，其中λ为入射光的波长，即DMD器件上每N个像素就存在2π的相位差。通过DMD与Z轴和X轴的夹角，使得DMD器件在两个方向上各像素都具有周期性的相位差。