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注射成型微流控芯片微沟槽成型质量的无损检测 第18卷第7期 2010年7月 光学-N密工程 OpticsandPrecisionEngineering Vo1.18No.7 Ju1.2010 文章编号1004—924X(2010)07—160508 注射成型微流控芯片微沟槽成型质量的无损检测 祝铁丽,周亮,刘永云 (大连理工大学模具研究所,辽宁大连116023) 摘要:针对注射成型的微流控芯片具有微沟槽深度成型质量好,宽度成型质量较差,而且各处微沟槽的宽度成型质量不 均衡的特点,利用Matlab软件的图像处理工具箱开发了微流控芯片微沟槽显微平面图片的图像处理系统,实现了利用 常用的光学显微镜对微沟槽的成型质量进行无损检测.引入人工干涉来进行高效图像去噪处理.根据提取的微结构轮 廓点进行了微沟槽轮廓的曲线拟合,测量了微沟槽的开口宽度和底部宽度.对由微流控芯片微沟槽显微平面图片所得 到的测量结果与由对微流控芯片进行切片检测所得到的测量结果进行比较,结果显示,两种方法得到的微沟槽开VI宽度 相差约4,槽底部宽度相差约3,说明做沟槽显微平面图片的测量结果能够满足注射成型工艺研究中微流控芯片微 结构成型质量检测的要求. 关键词:注射成型;微流控芯片;微沟槽;图像处理;无损检测 中图分类号:TQ317.3;TP391.41文献标识码:Adoi:10.3788/OPE1605 Non-destructivetestingformicrogroovesof injectionmoldedmicro—fluidicchips ZHUTie—li,ZHOUIiang,LIUYong—yun (InstituteofMoldamp;Die,DalianUniversityofTechnology,Dalian116023,China) Abstract:Injectionmoldedmicro—fluidicchipsarecharacterizedbythattheirmicrogroovesshowper fectimagingqualityinheightbutnotsatisfactoryinwidth,meanwhilethechipcannotremaintheuni— formqualityforthewidthofmicrogrooveeverywhere.Therefore,thispaperproposesanimagepro— cessingsystembasedonMatlabtOprocessthemicroflatphotoofthemicrogrooveofaninjection moldedmicro—fluidicchipandtocompletethenon—destructivetestingforthemicrogroove.Inimage processing,theartificialinterferenceisintroducedtoeliminatetheimagenoiseeffectivelyandthepro— filepointextractedformthephotoareusedtofittheprofilelinesofthegroove.Then,theopening widthandbottomwidthofthemicrogroovearemeasured.Measureddataofmicrochanne1widths fromthemicroflatphotosarecomparedwiththosedataobtainedfromcross—-sectionalphotosofmicro—. channe1slices.ResultsindicatethatthedifferencesbetweenthetWOmeasuringwaysarelessthan4 fortheopeningwidthandlessthan3forthebottomwidth,respectively.Obtaineddatademon— stratethattheproposednon—destructivemethodbasedopticaltelescopecanmeettherequirementsof 收稿日期:2009—09l5;修订日期:200911—26. 基金项目:”十一五”国家科技支撑计划资助项目(No.2006BAF04B13) 光学精密工程第18卷 micro—fluidicchipsformeasurementofmoldedqualityininjectionmolding. Keywords:injectionmolding;micro—flui