(机电一体化导论)第10章微机电系统技术.ppt

* 第10章 微机电系统技术 * 学习目标 知识目标： 1.微纳米技术及微纳米材料的三大效应； 2.微机电系统的概念、特征、分类及测量等。 能力目标： 1.概括总结所学知识的能力； 2.分析问题、解决问题的能力； * 学习重、难点 学习重点： 1.微纳米技术及材料的三种效应 ； 2.微机电系统的概念、特征和测量。 学习难点： 1.微机电系统的特征和分类； 2.微机电系统的测量和应用。 * 本章主要内容 微机电系统概述 10.1 微机电系统的特征与分类 10.2 微机电系统的材料和制造技术 10.3 微机电系统的测量技术 10.4 10.5 微机电系统的发展 10.6 微机电系统的应用 小结 思考题 * 10.1 微机电系统概述 微米和纳米均是长度单位，1微米为百万分之一米，1纳米为十亿分之一米。微米尺度是指1um-100um，纳米尺度是指1nm-100nm。一般来说，微纳米技术研究的尺度范围是指1nm-1mm。 微纳米技术是通过在微纳米尺度范围内对物质的控制来创造并使用新的材料、装置和系统。微机械、微系统或微机械电子系统（微机电系统）是大意相同的3个名词，其含义十分广泛，一般可定义为由微米（10-6m）和纳米（10-9m）加工技术制作而成的，融机、电、光、磁以及其他相关技术群为一体的，可以活动和控制的微工程系统。 * 人们泛称的是