ZnAl2O4系微波介质陶瓷的制备及其微波介电性能的研究-微电子学与固体电子学专业论文.docxVIP

εr = 12.02, Q·f = 80120GHz, τf = +2.1 ppm/℃, Adding 2 wt% H3BO3, sintering at 1200℃, the microwave dielectric properties of 0.79ZnAl2O4-0.21TiO2 ceramics were: εr = 11.75, Q·f = 74670GHz, τf = +1.8 ppm /℃. KEY WORDS：ZnAl2O4, 0.79ZnAl2O4-0.21TiO2, LTCC, ZBS glass, H3BO3 目 录 HYPERLINK \l _bookmark0 第一章 绪论1 HYPERLINK \l _bookmark1 1.1 引言1 HYPERLINK \l _bookmark2 1.2 微波介质陶瓷材料的性能及应用2 HYPERLINK \l _bookmark3 1.2.1 微波介质陶瓷材料的性能参数2 HYPERLINK \l _bookmark4 1.2.2 微波介质陶瓷材料的应用6 HYPERLINK \l _bookmark5 1.3 微波介质陶瓷材料的研究现状与进展7 HYPERLINK \l _bookmark6 1.3.1 微波介质陶瓷材料的研究现状7 HYPERLINK \l _bookmark7 1.3.2 微波介质陶瓷材料体系8 HYPERLINK \l _bookmark8 1.3.3 微波介质陶瓷材料的发展趋势10 HYPERLINK \l _bookmark9 1.3.4 低介电常数微波介质陶瓷现状与发展趋势11 HYPERLINK \l _bookmark10 1.4 ZnAl2O4 系微波介质陶瓷研究现状 11 HYPERLINK \l _bookmark11 LTCC 技术概述 12 HYPERLINK \l _bookmark12 LTCC 技术的特点 13 HYPERLINK \l _bookmark13 LTCC 技术的应用 13 HYPERLINK \l _bookmark14 1.5.3 LTCC 对材料的性能要求 15 HYPERLINK \l _bookmark15 1.6 研究内容15 HYPERLINK \l _bookmark16 第二章 实验过程及测试方法17 HYPERLINK \l _bookmark17 2.1 实验原料与设备17 HYPERLINK \l _bookmark18 2.1.1 实验原料17 HYPERLINK \l _bookmark19 2.1.2 实验设备17 HYPERLINK \l _bookmark20 2.2 实验方案与工艺流程18 HYPERLINK \l _bookmark21 2.2.1 实验方案18 HYPERLINK \l _bookmark22 2.2.2 工艺流程18 HYPERLINK \l _bookmark23 2.3 样品表征与测试21 HYPERLINK \l _bookmark24 2.3.1 相组成分析21 HYPERLINK \l _bookmark25 2.3.2 微观形貌分析21 HYPERLINK \l _bookmark26 2.3.3 体密度测试21 HYPERLINK \l _bookmark27 2.3.4 介电常数及低频介电损耗测试21 HYPERLINK \l _bookmark28 2.3.5 微波介电性能测试22 HYPERLINK \l _bookmark29 第三章 ZnAl2O4 系微波介质陶瓷的掺杂改性及介电性能研究 23 HYPERLINK \l _bookmark30 4.1 ZnAl2O4 系陶瓷晶体结构简介 23 HYPERLINK \l _bookmark31 3.2 添加 TiO2 对 ZnAl2O4 陶瓷的影响 24 HYPERLINK \l _bookmark32 （1-x）ZnAl2O4-x TiO2 烧结行为研究 24 HYPERLINK \l _bookmark33 （1-x）ZnAl2O4-x TiO2 物相分析 25 HYPERLINK \l _bookmark34 （1-x）ZnAl2O4-x TiO2 显微结构分析 26 HYPERLINK \l _bookmark35 （1-x）ZnAl2O4-x TiO2 微波介电性能研究 27 HYPERLINK \l _bookmark36 3.3 添加 SrTiO3 对 ZnAl2O4 陶瓷的影响 30 HYPERLINK