沉积条件对人工心瓣含硅低温热解炭微观结构影响-effect of deposition condition on microstructure of silicon-containing low-temperature pyrolytic carbon in artificial heart valve.docxVIP

杭州电 杭州电子科技大学硕士学位论文 万方数据 万方数据 摘 要 人工心瓣是人体病变心瓣的替代品，通过心瓣置换手术可以挽救患者生命。含硅低温热 解炭具有良好的生物相容性、化学惰性、高强度、高耐磨等优点，是人工心瓣的首选材料。 国内外对热解炭的研究大多集中在制备和性能测试方面，对微观结构以及沉积机理的研究较 少。关于应用在人工心瓣的含硅低温热解炭研究资料更是匮乏，因此非常有必要对其微观结 构进行研究。 本文采用准稳态流化床化学气相沉积工艺，在沉积温度 1250~1350 oC，丙烷浓度 25~60 % 的范围内，控制其他参数不变，制备了六种含硅低温热解炭涂层样品。通过 X 射线衍射仪、 扫描电镜、透射电镜和密度仪，研究了各样品的微观结构；在前人研究基础上，结合涂层微 观结构提出沉积机理；借沉积机理解释了沉积温度和丙烷浓度对其微观结构的影响。主要研 究内容如下： (1)研究了 X 射线衍射技术运用到热解炭微晶结构测试方面需要注意的问题和解决方法， 如峰形不对称和穿透深度问题。发现单个样品同一区域中热解炭微晶结晶状态连续分布在一个 较差到相对较好的区间内；基体与涂层界面处热解炭微晶石墨化度更高；随着丙烷浓度的升 高或者沉积温度的降低，涂层中热解炭微晶层间距增大、石墨化度降低、晶粒尺寸减小，碳 化硅质量分数降低。 (2)扫描电镜下含硅低温热解炭涂层由类球形颗粒和片层状结构组成。透射电镜下类