紫外熔石英光学元件加工缺陷钝化工艺分析-analysis of processing defect passivation technology of ultraviolet melting shi ying optical components.docxVIP

国防科学技术大学研究生院硕士学位论文 万方数据 目 录 摘 要 i Abstract ii 第一章 绪论 1 1.1 课题来源及意义 1 1.1.1 课题来源 1 1.1.2 课题研究背景及意义 1 1.2 熔石英光学元件阈值提升概述及研究现状 4 1.2.1 加工缺陷的产生与影响 4 1.2.2 改善缺陷的加工工艺 6 1.3 研究思路及主要内容 8 1.3.1 研究目标及研究思路 8 1.3.2 内容安排 9 第二章 紫外熔石英材料激光损伤阈值影响规律仿真研究 10 2.1 光场强度分布仿真与元件阈值的关联分析 10 2.1.1 光场强度分布对阈值的影响分析 10 2.1.2 光场强度分布与相对光强的关联分析 10 2.2 时域有限差分算法仿真研究 11 2.3 各类加工缺陷相对光场强度仿真计算 12 2.3.1 划痕缺陷的仿真计算 13 2.3.2 裂纹缺陷的仿真计算 15 2.4 本章小结 17  HYPERLINK \l _TOC_250000 第三章 熔石英元件缺陷 MRF 与 HF 酸洗钝化加工工艺研究 18 3.1 缺陷 MRF 加工钝化规律研究 18 3.1.1 MRF 对缺陷的钝化作用与原理 18 3.1.2 MRF 缺陷钝化效率分析研究 20 3.1.3 MRF 钝化作用的 RI 影响研究 23 3.1.4 MRF 提升阈值的局限性 24 3.2 缺陷 HF 酸洗钝化规律研究 24 3.2.1 HF 酸洗钝化效率实验 25 3.2.2 HF 酸洗钝化效率分析研究 26 3.2.3 HF 酸洗缺陷钝化作用对单个缺陷坑的 RI 影响 27 第 I 页 3.2.4 HF 酸洗提升阈值的局限性 28 3.3 本章小结 29 第四章 加工缺陷联合钝化加工工艺与实验 31 4.1 联合工艺的 RI 提升原理与优势 31 4.2 联合工艺加工实验 32 4.2.1 加工工艺与测量方法 33 4.2.2 加工结果与 RI 仿真分析 34 4.3 阈值测试与结果分析 37 4.4 本章小结 40 第五章 总结与展望 41 5.1 全文总结 41 5.2 研究展望 41 致谢 43 参考文献 45 作者在学期间取得的学术成果 49 第 II 页 万方数据 表 目 录 表 2.1 划痕模型参数表 14 表 2.2 仿真计算参数选择 14 表 3.1 MRF 前后缺陷坑形貌尺寸变化 19 表 3.2 MRF 抛光逐层抛光实验参数 21 表 3.3 MRF 逐层抛光中缺陷坑形貌变化 22 表 3.4 逐层酸洗实验参数 25 表 3.5 缺陷坑逐层酸洗过程中宽度深度变化 26 表 4.1 联合工艺加工实验方案 33 表 4.2 MRF 抛光工艺参数 34 表 4.3 HF 酸洗工艺参数 34 表 4.4 样件 C 缺陷坑形貌数据 36 表 4.5 激光阈值测试参数 38 表 4.6 激光阈值测试结果 38 表 4.7 优化工艺预计效果 39 万方数据 图 目 录 图 1.1 NIF 工程装置规划与光路示意图 1 图 1.2 激光损伤尺寸的指数增长 2 图 1.3 熔石英元件激光损伤性能提升图 3 图 1.4 各加工阶段元件表面缺陷分布 4 图 1.5 磨削亚表面裂纹密度沿深度的分布曲线 4 图 1.6 结构性缺陷诱发的损伤 5 图 1.7 阈值测试系统示意图 5 图 1.8 MRF 前后元件表面缺陷分布对比 7 图 1.9 HF 酸洗工艺对阈值的提升 7 图 1.10 论文框架结构图 8 图 2.1 光场强度分布在损伤发生过程中的意义 10 图 2.2 Yee 元胞 11 图 2.3 典型划痕测量 13 图 2.4 划痕仿真模型 14 图 2.5 元件表面缺陷附近电场分布 15 图 2.6 不同尺寸的划痕对 RI 的影响仿真结果 15 图 2.7 脆性缺陷模型 16 图 2.8 裂纹模型与仿真结果 16 图 2.9 不同抛光深度的脆性划痕对 RI 的影响 16 图 3.1 MRF 抛光缺陷轮廓理论变化趋势 18 图 3.2 MRF 抛光对缺陷的形貌衍变 19 图 3.3 元件表面缺陷处 MRF 剪切力分布仿真 20 图 3.4 MRF 抛光缺陷实际轮廓 20 图 3.5 MRF 逐层抛光缺陷 AFM 测量结果 21 图 3.6 MRF 逐层抛光缺陷轮廓的衍变曲线 22 图 3.7 MRF 对缺陷的钝化效率曲线 22 图 3.8 MRF 前后缺陷的 RI 变化 23 图 3.9 HF 酸洗过程中相邻缺陷钝化融合的过程 25 图 3.10 HF 逐层酸洗缺陷形貌衍变 25 图 3.11 HF