微位移直射式激光三角法精密测量.PDFVIP

第 卷第 期 西 安 工 业 大 学 学 报 ３８ １ Ｖｏｌ．３８Ｎｏ．１ 　 　 　 　 　 　 　 年 月 　　　　　　　　　　　 ’ 　　　　　　　　　　　 ２０１８ ２ ＪｏｕｒｎａｌｏｆＸｉａｎＴｅｃｈｎｏｌｏｉｃａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔ Ｆｅｂ．２０１８ ｇ ｙ ： ／ ＤＯＩ１０．１６１８５ ．ｘａｔｕ．ｅｄｕ．ｃｎ．２０１８．０１．０１２ ｊｊ 微位移的直射式激光三角法精密测量 范 源，吴慎将，郝冬杰 　 （西安工业大学 光电工程学院，西安 ７１００２１） 摘 要： 为适应生产中的非接触实时测量要求，基于直射式激光三角法测量原理和光路结 　 　 构，提出了微位移直射式激光三角精确测量方法 使用位移传感器（ ， ． ＰｏｓｉｔｉｏｎＳｅｎｓｏｒｓＤｅｔｅｃｔｏｒ ）来采集光点位置信息，通过电流／电压转换电路、放大电路、滤波电路和 ／ 模数转换电 ＰＳＤ Ａ Ｄ 路，实现了模拟信号到数字信号的转化和测距系统误差的校正 结果表明：测量距离为 ． １０～ １００ｍｍ时，全量程范围内测量误差小于３％；测量误差来源于系统中电子元器件的非线性特 性、安装调试干扰、测量标定误差以及环境温度干扰． 关键词： 激光；三角法；位移传感器；非线性特性 　 中图号： 文献标志码： 文章编号： （ ） ＴＮ２ Ａ １６７３９９６５２０１８０１００６９０５ 　 　　　　 　 　 犘狉犲犮犻狊犻狅狀犕犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋狅犳犕犻犮狉狅犇犻狊犾犪犮犲犿犲狀狋犫 ? 狆 狔 犇犻狉犲犮狋犔犪狊犲狉犜狉犻犪狀狌犾犪狋犻狅狀 犵 ， ， 犉犃犖犢狌犪狀犠犝犛犺犲狀犻犪狀 犎犃犗犇狅狀 犻犲 犼 犵 犵犼 （ ， ’ ， ’ ， ） ＳｃｈｏｏｌｏｆＯ ｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃＥｎｉｎｅｅｒｉｎ ＸｉａｎＴｅｃｈｎｏｌｏｉｃａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔ Ｘｉａｎ７１００２１Ｃｈｉｎａ ｐ ｇ ｇ ｇ ｙ ： ， 犃犫狊狋狉犪犮狋 Ｆｏｒｔｈｅｎｏｎ ｃｏｎ