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浅谈电子厂房中静电产生与防治 　　摘要：自然界中存在的物体，自身所带的正负电荷一般情况下都是相等的，当物体之间相互摩擦，并因外力分开时，因为两种物体摩擦起电的序列不同，就会导致两个物体分别独立带有正电荷或负电荷。文章阐述了静电产生的原理以及静电对电子工业的危害，介绍了电子厂房内几种不同的静电防治的方法。 　　关键词：电子厂房；电子工业；静电危害；静电防治；人体静电 文献标识码：A 　　中图分类号：TM08 文章编号：1009-2374（2015）10-0073-03 DOI：10.13535/j.cnki.11-4406/n.2015.0890 　　1 概述 　　公元前600年左右，古希腊哲学家塞利斯经过多次实验发现，用丝绸摩擦过的琥珀具有吸引灰尘、绒毛、麦秆等轻小物体的能力。塞利斯也因此成为了有历史记载的第一个静电实验者。20世纪50年代开始，在电子行业出现了静电问题，芯片失效后，在显微镜下看不到失效的原因，当时的结论是原因不明。 　　从那时开始，我们国家就开始重视静电问题，经过几十年的努力，取得了很多宝贵的成果，也培养了一大批各层次的科技人员，尽管如此，我们在静电领域还是有许多问题有待解决。本文将从静电的产生及对电子工业的危害入手，简单介绍防静电技术在电子工业中的 　　应用。 　　2 静电的产生及对电子工业的危害 　　2.1 静电的产生 　　静电是一种自然现象，在我们的日常生活中随处可见。根据测量，移动聚氨酯泡沫垫子，可以产生18000伏左右的静电电压，人在乙烯树脂地板上行走，可以产生12000伏左右静电电压，人在工作台上操作，可以产生6000伏左右的静电电压。自然界中存在的物体，自身所带的正负电荷一般情况下都是相等的，当物体之间相互摩擦，并因外力分开时，因为两种物体摩擦起电的序列不同，就会导致两个物体分别独立带有正电荷或负电荷，因此物体的表面就有了静电荷的存在，并在物体的周围形成静电场。摩擦起电并不是产生静电唯一的方式，现代科学研究发现，导体、电效应、压电效应都可以产生静电。 　　当物体带有静电荷以后，在其周边形成静电场。位于静电场中的任何其他带电体都会受到电场力的吸引或排斥，根据库仑法则： 　　式中： 　　F――电场力，牛顿 　　q1q2――两个物体所具有的电荷量 　　r――两物体之间的距离，库仑 　　ε――电容率（8.85×10-12） 　　当物体所带相同极性的电荷时，物体之间就会相互排斥；当物体所带相反极性的电荷时，物体之间就会相互吸引。当物体带有静电荷后，就会在其四周形成静电场，该静电场力每平方厘米大约几十到几百毫克力，一般情况下，对重物的作用力并不大，但对于体积较小、质量极轻纸片、毛发、纤维、尘埃等的吸附作用则是非常明显的。 　　2.2 静电对电子工业的危害 　　静电对电子工业的危害有很多种，其中有三种方式的危害最大，分别为静电放电、吸附尘埃、静电感应。 　　2.2.1 静电放电。在两个具有不同静电电位的物体之间，由于直接接触或者静电感应而引起的两个物体间的静电电荷的转移，在电荷转移过程中产生的一种放电现象，称为静电放电。静电放电可使集成电路芯片介质击穿、芯线熔断、电性能参数改变、漏电流增大而加速芯片老化等。静电放电对集成电路芯片损坏具有潜在性和缓慢失效性，这种情况对集成电路芯片的危害性 　　最大。 　　2.2.2 吸附尘埃。现代大规模集成电路生产中，芯片的线宽已仅为纳米级，其产生的静电可以对几至几十微米的尘埃产生吸附作用，则一颗直径几微米的尘埃吸附在芯片上，足以造成几百根甚至更多的芯线之间的绝缘强度降低，造成短路或芯片损坏。 　　2.2.3 静电感应。不带电的金属导体放在电场中，导体内部的电荷在电场的作用下发生定向移动，导致导体内电荷的重新分配的现象，称为静电感应。在电子工业厂房中，静电感应的危害极大，因感应放电而产生的宽频带干扰可导致芯片和低电平数字电路发生翻转效应，从而使芯片功能失效。 　　日本曾经对电子产品的不良品进行过解剖分析，发现45%的不合格器件是因静电感应损坏的。英国经过统计，该国每年因静电造成电子工业的损失约20多亿英镑。美国对电子工业因为静电所造成的损失进行了数年的调查，发现每年的损失高达100多亿美元。1992年初，我国航天领域的北京某实验室在组装调试我国“资源卫星”上使用的一种仪器时，因操作人员没有做好静电防护措施，导致两只价值近万美元的进口并遭禁运的CCD器件（一种MOS器件）因人体静电放电而失效，险些影响卫星的发射进度。 　　3 集成电路芯片生产中的静电防治 　　在集成电路芯片生产过程中，不产生静电是不可能的，我们需要尽量避免和防止静电的产生，并快速而有效地将已产生的静电进行泄放和消除。电子厂房中产生静电并不可怕，可怕的是静电积累