基于塔尔博特自成像光刻机的照明系统设计与分析.PDFVIP

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基于塔尔博特自成像光刻机的照明系统设计与分析

激光与光电子学进展 , ( ) « » 54 0822012017 C2017 中国激光 杂志社 LaserOtoelectronicsProress ○ p g 基于塔尔博特自成像光刻机的照明系统设计与分析 , 12 2 2 , , 佟军民 刘俊伯 胡 松   1 , ; 许昌职业技术学院 河南 许昌 461000 2 , 中国科学院光电技术研究所 四川 成都 610209 , , 摘要 针对塔尔博特自成像光刻机对照明系统的特定需求 基于成像照明光学设计理论 引入非成像光学理论思   , . , 想 建立照明系统的初始结构 利用光学设计软件 Zemax对照明系统光学初始结构进行优化 并在 Lihttools中 g . , , 对该照明系统进行建模和大规模分布式光线追迹 追迹结果表明 在照明面积 60mm×60mm范围内 照明不均 -2 , . , 匀度约为1.83% 照明功率密度不小于 1.15mW mm 对照明面在光轴方向上的位移容差进行分析 结果表明 该照明系统可以满足塔尔博特自成像光刻的需求. ; ; ; ; 关键词 光学设计 光刻 照明系统 容差分析 塔尔博特自成像   中图分类号 O439   文献标识码 A : / doi10.3788LOP54.082201 DesinandAnalsisofIlluminationSstemofTalbotSelfGImain g y y g g LithorahicEuiment g p q p 1 2 2 2 Ton Junmin LiuJunbo HuSon g

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