基于塔尔博特自成像光刻机的照明系统设计与分析.PDFVIP

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2018-09-28 发布于天津
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基于塔尔博特自成像光刻机的照明系统设计与分析.PDF

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基于塔尔博特自成像光刻机的照明系统设计与分析

激光与光电子学进展 , ( ) « » ５４０８２２０１２０１７ C２０１７中国激光杂志社 LaserOtoelectronicsProress ○ p g 基于塔尔博特自成像光刻机的照明系统设计与分析 , １２２２ , , 佟军民刘俊伯胡松　１ , ; 许昌职业技术学院河南许昌４６１０００２ , 中国科学院光电技术研究所四川成都６１０２０９ , , 摘要针对塔尔博特自成像光刻机对照明系统的特定需求基于成像照明光学设计理论引入非成像光学理论思　 , . , 想建立照明系统的初始结构利用光学设计软件 Zemax对照明系统光学初始结构进行优化并在 Lihttools中 g . , , 对该照明系统进行建模和大规模分布式光线追迹追迹结果表明在照明面积６０mm×６０mm范围内照明不均－２ , . , 匀度约为１．８３％照明功率密度不小于１．１５mW mm 对照明面在光轴方向上的位移容差进行分析结果表明该照明系统可以满足塔尔博特自成像光刻的需求. ; ; ; ; 关键词光学设计光刻照明系统容差分析塔尔博特自成像　中图分类号　O４３９　　　文献标识码　A : / doi１０．３７８８LOP５４．０８２２０１ DesinandAnalsisofIlluminationSstemofTalbotSelfＧImain g y y g g LithorahicEuiment g p q p １２２２ Ton Junmin LiuJunbo HuSon g