渐逝场型光纤钯膜氢气传感器研制.PDFVIP

　2008年 仪 表 技 术 与 传 感 器 2008　 　第 4 期 In strum en t　Techn ique　and　Sen sor No4　 渐逝场型光纤钯膜氢气传感器的研制 严启发 ,刘永智 ,赵羽 (电子科技大学光电信息学院 ,四川成都 , 610054) 　　摘要 :文中论述了渐逝场型光纤氢气传感器的传感结构和工作原理 ,并对传感头镀膜技术进行了仔细分析 , 由此确定 出钯膜的最佳厚度以及膜厚控制方法 。在此理论指导下 ,研制出渐逝场型光纤钯膜氢气传感器 。经过气体浓度测试表 明 ,氢气传感器输出的实验数据与理论分析结果符合较好 ,试验结果准确揭示了钯膜氢敏特性与膜厚的变化规律 。 关键词 :光纤氢气传感器 ;渐逝场 ;钯膜 ;测试 中图分类号 : TP2 12　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 1002 - 184 1 (2008) 04 - 0005 - 03 Study of Evanescen tf ield Hydrogen Ga s Sen sor Ba sed on Pa llad ium coa ted F iber YAN Q ifa, L IU Yongzh i, ZHAO Yu ( School of O ptoelectron ic Inform a tion, Un iversity of Electron ic Sc ien ce an d Technology of Ch ina, Chengdu 610054, Ch ina) A b stract: Th is p ap er discu ssed the configuration and theory of the fiberop tic evanescen tfield hydrogen ga s sen sor; and an alyzed the p latingtechno logy of sen sor organ; then got the op tim um th ickness of the p dfilm and the way of th ickne sscon trol of the p dfilm. B ased on th is theory, m any hydrogen ga s sen sors were m ade. In the exp erim en ts, the sen sors give a figu re wh ich has the sam e change curren t w ith the theory figu re; at the sam e tim e, the data of the exp erim ents po st the characteristic of different th ickne ss of the p dfilm in hydrogen atmo sp here exactly. Key words: fiberop tic hydrogen ga s sen sor; evanescen tfield; Pdfilm ; te st 1　渐逝场型光纤氢气传感器的基本原理 渐逝场型光纤氢气传感器的探头结构如图 1所示 。 光纤氢气传感技术通过光纤技术测量钯薄膜的透射率 、折 射率等物理性质的变化来监测氢气浓度的变化 。当钯暴露于 氢环境中 ,氢气分子会吸附于钯的表面 ,并逐渐分解为氢原子 , 然后氢