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NAURA LED——我们这些年
2017 年新年刚过,朋友圈里就流传出一张三安光电关于其两款芯片产品调价的公告,
业界称这次涨价为“不负众望”,这一次,行业龙头终于和整个产业站在了一起,共同开创
LED 产业的新格局。
此前好几年,大家讨论的都是芯片无休止的降价。多年持续扩张,产能逐年释放,导致
供过于求,仿佛是把这个产业“做烂”的合理解释。但在2016 年初的时候,谁都不会想到,
一年后的今天会掀起一个全行业的涨价潮。这背后彰显的是“中国制造”在全球 LED 行业
的话语权。
北方华创微电子与LED 产业的初识
北方华创微电子与 LED 产业的渊源要追溯到2009 年,当时国内 LED 刻蚀机的市场几
乎全被日本和英国的两家公司瓜分,其中日本公司的市占率达到了近80%。2010 年6 月,
我们的 ELEDE 330 LED 刻蚀机发布,第一个客户是国内第一家PSS 衬底厂,作为第一个敢
吃螃蟹的创新企业,6 年之后其出货量已经跃居全球第一。记得在讨论给这台机器取名的时
候,第一任产品经理给出了他的解释:Effective LED Etcher ,高效的LED 刻蚀机。简单不
花哨,如同我们对这台设备的期望一样。
2011 年到 2012 年是国内 LED 产业大踏步前进的两年,在各地政府强力补贴的刺激
下,LED 外延芯片厂犹如雨后春笋般遍地发芽。那两年我们接触过的 LED 芯片企业超过50
家,仅江苏一个省就超过 20 家。还处在产品成长期的 ELEDE 在那波建厂大潮中并没有拿
到多少订单,国外及台湾的技术团队在评估设备选型时,几乎无一例外的会沿用之前用过的
设备,这对于要对公司技术负责的评估团队来说是最快速、风险最小的方案。但这其中仍有
例外,也正是由于这些“例外”的存在,在那两年里,我们的市占率提高到16% ,日本企业
仍然独占半壁江山。
LED 刻蚀机,ELEDE 时代到来
从2013 年开始,ELEDE 真正迎来了它的时代,市占率逐年提高。2013 年超越所有对
手成为市占率第一的产品,到2015 年,新增市占率已经超过80%。
2014 年ELEDE 发布了第二代产品 ELEDE 380 系列刻蚀机,比上一代产品产能提升超
过30% ,同类产品产能最大。这极大的提高了ELEDE 刻蚀机的竞争力,势如破竹势不可挡。
2014 年9 月 18 日,厦门。不知道是巧合,还是客户有意把这么重大的决定安排在这特殊
的一天。谈判是在总部的一层会议室,旁边的会议室里坐着竞争对手的高层。对于一个合同
标的超过五千万的大单,谁都不会掉以轻心。那天谈了整整一个下午,双方就未来的长远合
作表达了意愿和决心,客户高层领导说:“国内的芯片企业要想做大做强,必须要依托国内
的装备企业,现阶段我们的装备水平还不够强,但我们愿意与国内装备企业共同成长”。2016
年,随着客户产品结构调整,对ICP 提出了更高的技术要求,我们不断优化产品工艺能力,
与客户技术人员紧密配合,顺利协助客户技术升级。现如今这家客户已经与北方华创微电子
实现全面的战略合作,芯片装备从ICP、PECVD 到AlN Sputter 都实现了全面的替代性采
购;在清洗机的国产化上,双方也在不遗余力的加速推进。
2016 年,ELEDE 再次发布升级产品ELEDE 380G+ LED 芯片刻蚀机,产能再度提升的
同时大幅扩展了工艺应用窗口,除了传统正装芯片的 MESA 刻蚀,近年来需求量大幅提升
的倒装芯片所必需的ISO 刻蚀、DBR 刻蚀也都全部满足需求。2016 年,仅用于GaN 芯片
工艺的ELEDE 380G+销量是2015 年销量的4 倍,全球出货量第一。
ELEDE 系列的另一个重要分支是 PSS 图形化衬底刻蚀机。PSS 代工产业是在 LED 的技
术发展过程中新增加的一环,正由于它在 LED 产业链中相对独立,工艺流程短,才有了独
立成为一个产业的可能。更小的投资规模、更低的技术门槛,使PSS 厂成为LED 产业里的
投资热点。自2010 年以来,国内新建PSS 厂不下10 家。PSS 衬底技术起源于韩国,因此
韩国的技术团队和配套设备在国内大行其道。PSS 产业链中最核心的装备是 ICP 刻蚀机,
日本、法国、韩国等装备企业都涉足过PSS ICP 刻蚀机,但随着技术水平的不断进步,标准
化逐渐形成,技术规格和行业标准趋于统一,在一轮轮的技术调整和产业优化中,日本和法
国的设备逐渐被淘汰。
2016 年全新发布的ELEDE 380E PSS
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