第一部分仪器介绍01第三.PDFVIP

目录 第一部分 仪器介绍 01 第三部分 维 护 19 · 1.1 外观尺寸 01 · 3.1 日常检查 19 · 1.2 仪器结构 02 · 3.2 真空维护与清洗 20 · 1.2.1 质谱室 02 · 3.2.1 机械泵油面观测 20 · 1.2.1.1 离子源 03 · 3.2.2 更换机械泵油 20 · 1.2.1.2 磁分析器 03 · 3.2.3 分子泵加注润滑油 20 · 1.2.1.3 接收极与前置放大器 04 · 3.2.4 清洗分子泵 20 · 1.2.1.4 全离子检测极 04 · 3.2.5 清洗质谱室 20 · 1.2.2 真空系统