《纳米技术与精密工程》排版格式与论文书写要求-CNKI.docVIP

太 原 理 工 大 学 学 报 题名应能恰当、简明地反映论文内容 太 原 理 工 大 学 学 报 Journal of Taiyuan University of Technology 本模板由不同论文拼凑而成，请主要关注格式和规范要求，忽略内容上的前后不对应 请单栏排版 TiO2纳米颗粒的制备、光催化性能及羟基自由基研究 标题题目应恰当简明地反映论文内容，精确点明本文的独创性内容 第一作者1 ，2 ，第二作者2 （1.XXXX大学 XX学院，山西 太谷 030801； 2 XXXX大学 XXXX学院，山西 太原 030006） 摘 要：摘要内容应包括目的、方法、结果和结论；缩写词第一次出现时请用全称；不要出现公式、图表和参考文献序号。针对金属层间介质以及MEMS等对氧化硅薄膜的需求，采用等离子增强型化学气相淀积(PECVD)技术，以SiH4和N2O为反应气体，低温制备了SiO2薄膜。利用椭偏仪、应力测试系统对SiO2薄膜的厚度、折射率、均匀性以及应力等性能指标进行了测试，探讨了射频功率、反应腔室压力、气体流量比等关键工艺参数对SiO2薄膜性能的影响。结果表明：SiO2薄膜的折射率主要由N2O/SiH4的流量比决定，而薄膜均匀性主要受电极间距以及反应腔室压力的影响。通过优化工艺参数，低温260℃下制备了折射率为1.45~1.52（中文环境下，用波浪线表示数字范围），均匀性为±