机电工程与自动学院微机电系统(MEMS).ppt

微机电系统概述 机电工程与自动化学院 微机电系统(MEMS) MEMS是适用于批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器、信号处理和控制及通讯接口电路、能源等于一体的能完成特定功能的微系统。 MEMS与相关学科领域  MEMS的特点 1）微型化：MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。 2）以硅为主要材料，机械电器性能优良：硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度类似铝，热传导率接近钼和钨。 3）批量生产：用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个微型机电装置或完整的MEMS。批量生产可大大降低生产成本。 4）集成化：可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，或形成微传感器阵列、微执行器阵列，甚至把多种功能的器件集成在一起，形成复杂的微系统。微传感器、微执行器和微电子器件的集成可制造出可靠性、稳定性很高的MEMS。 5）多学科交叉：MEMS涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科，并集约了当今科学技术发展的许多尖端成果。 微机电系统研究得到了美国、日本、欧洲等各国政府机构、企业界、高等学校与研究机构的高度重视。源源不断涌现的MEMS器件和系统不但突破了某些传统加工技术的瓶颈，实现了技术的进步，甚至带来了观念的革命和产业