XY压电陶瓷纳米定位器-PhysikInstrumente.PDFVIP

XY压电陶瓷纳米定位器 具有孔径的高精度XY扫描仪 P-733.2  X和Y 向上的行程达100微米×100微米  电容式传感器使分辨率达0.1纳米  带直接驱动器的高速版本  可提供真空兼容和非磁性版本  并联运动实现更高精度和动态  导向误差主动补偿的并行计量  零间隙，高精度柔性铰链导向系统  50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光 应用 应用领域  扫描显微镜  共聚焦显微镜  掩模/ 晶圆定位  表面测量技术  纳米压印  显微操纵  图像处理/稳定  高运动平面度和直线度的纳米定位 PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命 专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统 的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。 带电容式传感器，实现亚纳米分辨率 电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。 零间隙柔性铰链导向带来高导向精度 柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。 它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。 自动配置和快速部件更换 机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub- D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。 14.06.2018 直接位置测量带来最大精度 运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性 、快速响应控制。 并联运动实现高动态多轴操作 在并联多轴系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴具有最小的质量惯性和相同的设计，可实现快速、动 态和精密的运动。 适用于复杂真空应用 压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可 实现极低的排气率。 规格 P-733.2CD P-733.2DD 单位 公差 P-733.2CL 主动轴 X, Y X, Y 运动和定位 集成传感器 电容式 电容式 -20至120 伏时的开环行程 115 微米×115 微米 33 微米×33 微米 +20 % / -0 % 行程，闭环