LED晶圆贴片过程中压力的二阶段模糊决策与控制-中国科学院自动化.PDFVIP

第31 卷 第3 期 控 制 与 决 策 2016 年 3 月 Vol. 31 No. 3 Control and Decision Mar. 2016 文章编号: 1001-0920 (2016) 03-0403-07 DOI: 10.13195/j.kzyjc.2014.1952 LED 晶圆贴片过程中压力的二阶段模糊决策与控制 1,2 1 王佐勋 , 徐 德 (1. 中国科学院自动化研究所精密感知与控制研究中心，北京100190； 2. 齐鲁工业大学电气工程与自动化学院，济南250353) 摘 要: 针对LED 晶圆贴片过程, 设计一种利用阀门的开关和开度控制气缸内气压的压力控制系统, 提出一种多目 标分阶段决策和控制的方法, 实现活塞运动和加压控制. 根据活塞的位移和压力, 采用逻辑决策方法, 选择需要控制 的阀门. 根据规划压力与实测压力的差值及其差值变化率, 利用模糊自适应PID 控制方法控制阀门的开度. 采用半张 量积的方法将逻辑决策和模糊控制中的推理转变成矩阵形式, 以简化运算量, 提高运算速度和控制精确度. 关键词: LED 晶圆贴片；模糊决策和控制；压力控制；半张量积 中图分类号: TP273 文献标志码: A Two-step decision and control of pressure in LED wafer pasting process WANG Zuo-xun1,2 , XU De 1 (1. Research Center of Precision Sensing and Control，Institute of Automation ，Chinese Academy of Sciences，Beijing 100190，China ；2. School of Electrical Engineering and Automation，Qilu University of Technology，ji’nan 250353, China ．Correspondent ：WANG Zuo-xun ，E-mail ：wangzuoxun@126.com) Abstract ：：：A pressure control system is designed to control the pressure inside the cylinder via the valve’s switching and opening degree in the LED wafer pasting process. The method of multi-target and multi-step decision and control is proposed, which can control the piston’s motion and pressure. According to the displacement and pressure on the piston, the logic decision method is used to select the valve that needs to be controlled. According to the error and error change rate between planned and actual measured pressure, the fuzzy adaptive PID control method can be used to purposeful control valve’s opening degree. By using the method of semi-tensor