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数字检波器工作原理和地震勘探应用 　　【摘 要】 基于MEMS技术的数字检波器的在地震勘探领域的成功应用，彻底摒弃模拟检波器的机电转换装置，真正实现了全数字化采集。数字检波器最核心的技术，在于它的加速度感应头，也称之为微机电系统（MicroElectroMechanical System），即MEMS。本文主要介绍MEMS芯片的工作原理、电路构成，以及SERCEL公司生产的单分量数字检波器DSU1在地震勘探数据采集中的实际应用。 　　【关键词】 超精度地震传感器 MEMS技术原理 DSU1工作特性 　　1 诞生数字检波器的地震仪器背景 　　以往人们在讨论地震仪器时，注意力往往多集中在探讨对已产生的地震信号如何进行记录和处理，而对于地震信号是如何产生和接收的，则言之甚少，这并不是因为这个问题不重要，而是因为在这个问题上，长期以来还没有找到令人满意的解决方法。事实证明，如果不摒弃现有的机电转换模式，地震传感器的精度指标永远也不会有实质性的突破。 　　自从上世纪三十年代，世界上出现第一台地震仪，近百来的发展，直到最近几年才开始实践应用数字检波器，地震勘探的实践表明，只有当人们不但掌握了△-∑模数转换技术，而且掌握了神奇的固体薄膜技术，全新的超精度地震传感器才会应运而生。 　　法国SECEL公司研发的DSU采集链是基于MEMS技术的数字检波器采集链。SECEL公司的数字检波器产品之一垂直单分量数字检波器DSU1，于2010年前后在中国地震勘探市场上批量投入勘探应用。DSU1具有宽频线性响应、低畸变特点，是高分辨率地震勘探的理想采集设备。下面将从数字检波器的工作原理、与传统检波器的特性比较、实际生产应用等几个方面，进一步详细分析介绍这新一代地震勘探设备——数字检波器DSU。 　　2 数字检波器的基本工作原理与DSU单元的电路构成 　　应当指出，只有当地震仪器从集中车载发展到野外分布阶段以后，把数字检波器固化在采集站内部的想法才可能成为现实。因为在地震仪器集中车载阶段，所有的具有采集站功能的电路板都是安装在仪器车内的，而检波器则始终需要摆放、接插在地面。所以，从最早的模拟记录仪，到早期的15位的数字记录仪，再到基于△-∑技术的24位遥测地震仪，这每一个技术进步，对于数字检波器的诞生都不可或缺。 　　讲数字检波器，首先要弄清楚地震仪器中的一个最基本的单元——地震数据采集站，也称为野外数字化单元，它的主要作用是把地震波激励转化成数字化信号以后，经信号处理器DSP输出到电源站LAUL或交叉站LAUX进行处理，然后送到车载仪器系统的中心站。 　　那么，数字检波器功能具体如何实现呢？就是在DSU数字检波器采集站中，内置一个基于MEMS技术的加速度感应头，将此加速度感应头与地震数据采集站最核心的部件也即基于△-∑技术的24位转换器结合在一起，实现将地震波激励直接转换成数字流的过程。基于△-∑技术的24位转换器，其采样频率可达256kHz，256kHz的1bit数据位流经过滤波和抽取，最终输出24位4kHz子样数据。 　　为了便于从整体上理解数字检波器在地震数据采集中所发挥的作用，在这里需简单介绍一下常规地震数据采集站的基本功能： 　　（1）接收来自主LAU的命令； 　　（2）重复大线上的数据包； 　　（3）数字化地震数据； 　　（4）采样传输到从LAU； 　　（5）对仪器和野外测试产生模拟信号； 　　（6）在EEPROM中存储数据采集站自身的地址； 　　（7）通过LED闪烁代码告知数据采集站工作的状态。 　　地震数据采集站常规电路构成与主要功能模块如图1所示： 　　从上图可见，基于MEMS技术的DSU地震数据采集站的电路构成中，仍然离不开POWER SUPPLY（电源支持）、FDU-INT（信号整形）、FDU COM（管理数据采集站与电源站与交叉站之间的通信）、SIG DEL（△-∑24位模数转换）、EEPROM（存储单元）这五大功能模块。 　　而体现全新的数字检波器功能的，就是下面将要讲到的数字化超精度地震传感器。数字检波器在电路构成上，它是由一个加速度感应头（MEMS）和电压信号的产生与数字化电路（ASIC）一起组成。其工作原理概括地说，就是当地震波激励引起MEMS内的惯性质量体发生位移后，ASIC内有一个力的反馈电路通过感应电极间电容量变化，由放大器输出一个电压信号，并反馈到两电极之间，力图产生一个恢复力，最终使电容器再回到原来的平衡位置。从理论上讲，放大器输出的这个电压信号，就可以被用来描述来自地面的地震波的激励。之后，这个电压信号被检测电路检出，送给采集站内的24位△-∑模数转换器，最终输出一个24位的串行数字流。至此，地震波的完全数字化拾取终于变成现实。 　　传统的地震传感器是直接利用运动线圈