物理光学元件技术要求与检验国际新标准.pptVIP

结论 单纯用PV值(指标)评定波面或镜面是不够的 应指出是相对于最佳拟合球面的PV值或就是两波面最大距离的PV值 考虑到波面的旋转对称性是十分重要的，尤其在神光装置中的补偿效果 建议：定义的PV值用大写；用最佳拟合球面分离出的PV值用小写，以示区别 另外，梯度问题 表4.3 典型NIF光学元件表面形技术要求 光学元件 PV，λ=0.633μm 梯度值 主放大器钕玻璃片 T： λ/6 空间波长6cm时，梯度λ/25/ cm，空间波长0.4―6cm时，梯度λ/20/cm 光传输 反射镜 R： λ/2.5 空间波长2cm时，梯度λ/25/ cm，空间波长2cm时，梯度λ/10/cm KDP开关 晶体 T： λ/4 空间波长2cm时，梯度λ/25/ cm，空间波长2cm时，梯度λ/10/cm 4.3 表面缺陷问题 早期 : “光学量度”把光学机械表面质量（60年代）： 光学表面光洁度PI … PVII ― 缺陷 机械表面光洁度▽1-14 ― 粗糙度 现用“光学设计手册” （90年代）： 光学表面疵病（GB1185-89） B/G×J ；CN×B；Pz 表面粗糙度（GB1031-83《机械…》） Ra=0.012?m ▽14 ISO10110-7 Ⅰ. 5/N×A；CN’ ×A; LN”×A”; EA’” Ⅱ. 5/TV或RV，EA’” 用Suface texture 表4.4 方法I用的疵病标准板的具体数值 级数A mm 圆“缺陷”直径μm “划痕”尺寸 μm 标准板N0.1 0.004 0.006 0.010 0.016 0.025 0.040 4.5 7 11 18 28 45 1×16 1.6×25 2.5×40 4.0×63 0.3×100 10×160 标准板N0.2 0.040 0.060 0.100 0.160 0.250 0.400 45 70 110 180 280 450 10×160 16×225 25×400 40×630 63×1000 100×1600 10 20 40 60 80 SCRATCH SAMPLE 5 10 20 40 50 DIG SAMPLE MIL-O-13830A 表4.6划痕/坑点号码与尺寸对照表 (如：40/20) 划 痕 坑 点 号 码 最大宽度（μm） 号 码 最大直径 10 15 20 30 40 60 80 1 1.5 2 3 4 6 8 1 2 3 5 10 15 20 30 40 50 10 20 30 50 100 150 200 300 400 500 NIF光学图纸是从MIL-O-13830A 转换用 ISO10110-7规范 我国 *一个如何制定问题 *一个如何检验问题 *标准板的制作 *检验设备的研制 4.4 关于表面结构特性 表面抛光程度 ，即表面粗糙度的容 许量和表示法与国内差异较大。倍加注 意：用机械表面标准表述光学表面是极 不充分的。 Rq?15nm ？ Rq?2.0~0.5nm 国外光学元件表面粗糙度要求（RMS） 细磨玻璃表面、磁盘表面 10nm- 几?m 良好的机械加工表面 10nm- 1?m 单点金刚石切削表面 3-15nm 普通光学元件 1.5-2.5nm 超光滑光学元件 0.5nm 特殊超光滑光学元件 0.1nm 两类光学表面 粗表面 （≥λ变化）或称研磨表面用“G”表示 镜表面 （＜λ或λ变化）或称抛光表面用“P”表示 镜面的三种表示 表示粗糙度：RMS（Rq），Ra，PV（Rz）。 定量的微缺陷（＜μm）：N/10mm 共分4级 。 功率谱密度（Power Spectral Density PSD）函数 单位长度的倒数表示的被测表面粗糙度的频谱。 表4.9 表面微缺陷的四个级别 抛光级别 每10mm取样长度内微缺陷数N P1 80 ? N 400 P2 16 ? N 80 P3 3 ? N ? 16 P4 N 3 注意：P1 – P4 不要与PI- PIV混淆 相对德国DIN3140标准 P1 ? P2 ?? P3 ??? P4 ???? 具体表示 *粗糙面 G Rq 2?m 5 mm * 光滑面 P3 16个/10mm Rq?0.001 0.002~1mm * PSD P4