（毕业学术论文设计）-等离子体增强化学气相沉积PEVCD的研究现状.docVIP

等离子体增强化学气相沉积PEVCD的研究现状 PAGE PAGE 2 精品 太阳能光电工程学院 《材料加工设备概论》 课程设计报告书 题 目 等离子体增强化学气相沉积PEVCD的研究现状 姓 名： 专 业： 光伏材料加工与应用技术 班 级： 09级光伏材料助考班 摘 要 本设计主要阐述了等离子体增强化学气相沉积PECVD的基本原理，什么叫PECVD以及在太阳能电池片制作过程中的研究现状 关键词： 等离子 化学气相沉积 基本原理 PECVD 研究现状 目 录 TOC \o 1-4 \h \u HYPERLINK \l _Toc16394 绪 言 PAGEREF _Toc16394 3 HYPERLINK \l _Toc20415 1 　等离子体概论 PAGEREF _Toc20415 4 HYPERLINK \l _Toc16625 1.1 等离子体的基本概念和性质 PAGEREF _Toc16625 4 HYPERLINK \l _Toc29596 1.2 等离子体的特性参数描述 PAGEREF _Toc29596 5 HYPERLINK \l