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2010年中国电子学会第十六届电子元件学术年会噪声用于电子元器件和电路可靠性评估 2010年中国电子学会第十六届电子元件学术年会 噪声用于电子元器件和电路可靠性评估 杜磊庄奕琪 西安电子科技大学 1．引言 保障整机和系统可靠性的方法之一是准确评估电子元器件和电路模块的可靠性，从而筛选 出高可靠的产品。电子元器件和集成电路模块应用可靠性传统评估方法具有周期长、代价高、 所需样品数量大和准确性差等问题。例如，众所周知发生在浴盆曲线平坦区域的大多数失效是 电子器件制造过程或寿命期间(工作、测试、存储、运输)产生的潜在缺陷引起的。常规电参 量检测很难发现这些潜在缺陷。由于电噪声是对于这类缺陷最为敏感的物理量，因此电噪声成 为原位检测潜在缺陷和隐性失效最为理想的工具。基于电噪声的失效物理方法已成为最有前景 的电子产品可靠性评估方法。 本文综述基于电噪声的失效物理可靠性评估方法的基本概念和应用领域，并介绍西安电子 科技大学该方向的科研成果。 2．可表征元器件可靠性信息的噪声参数 噪声携带有电子元器件可靠性的信息，需要构造可以表征这些信息的噪声参数。器件可靠 性低是由于器件固有的或寿命期间产生的缺陷或菲完整性造成的，噪声某些特征参量对这些缺 陷和非完整性以及失效机制敏感才能用于器件可靠性表征。 器件噪声分为白噪声：热噪声和散粒噪声；有色噪声：1／f噪声，g—r噪声、RTS噪声等。 在低频范围热噪