基于直线法分析设计的新型Mach—Zehnder型GaAs高速行波光调制器.docVIP

基于直线法分析设计的新型Mach—Zehnder型GaAs高速行波光调制器 光电子?■光第10卷第4期1999年8月 JOURNALOFOPTOELECTRONICS?LASERVo1.10No4Aug.1999 基于直线法分析设计的新型Mach—Zehnder型GaAs高速行波 光调制器 L,, 搔赵吴志武王明华 } .. . 要丰文首次提出利用n重掺杂层的慢渡效应研制Mach—Zebnder干涉型行渡光调制器.并通过在 ..[彳,电常数E,中目【^与电导宰有关的盛部/,拓展了直线法对舟质损耗的计算,而就谈调帝|器的各 7,/々『,/结构参数对其微波特性的影响进行了详细的理论分析计算.由此我们确定了可以同时达到光波与微波 ///速度匹配且损耗最小的器件设计参数,其理论带宽可达30GHz.然后在理论分析结论的基础上提出了 改进的优化结构.通过在M—z型调制器的两个光波导之间挖槽,突破了传统M-Z结构中电极间距的严 格限制.达到缩小电投间距,减小光波导层厚度的目的,进而使理论带宽大幅提高.为研制工作莫定了基 础. 美-词G ～aAs~t垡}Mac NewDesignedMaeh torsBasedontheAnalyticalNumeralResultsoftheMethodofLine ZhaoXuYangJianyiWuZhiwuWangMinghua (DepartmentofInformationScienceandElectronicEngineeringZhejiangUniversitytHangzhou310027) AbstractAnewdesignofMath—Zehndertraveling—waveinterferometermodulatorbasedontheslow— waveeffecto{thenheavydopedepitaxiallairareproposedthefirsttimeinthispaper.Whenapplying themethodoflinetofiniteconductivitystructuretthepermirtivityofsemiconductorisassumedtobe complex.Theinfluencesonthemicrowavecharacteristicsofthestructuralparametersofthemodulator areanalyzedindetailsbymeansofthemethodofline.Basedontheanalyticalresultstwegetthestrut— tufa1parameterswhichisneededsoastoobtainvelocitymatchandtheminimum1oss.Its3dBband— widthisestimatedaround30GHz.Wealsoproposeanewoptimalgroovedstructure,whichcanreduce thegapofelectrodesandthethicknessofwaveguide,soastomakethemodulators3dBbandwidthto beexpandedlargely. KeywordsGaAs~trave]ing--wave;Math--~hnamp;rmodu]ator 1引言 光纤通讯的迅猛发展,对高速光调制器的要求越 来越迫切.为提高带宽,人们提出了行渡电极结构.通 过行渡调制器的理论分析可知,要获得尽可能大的调 制带宽,要求同时满足:行渡调制电极中的微波传输 速率与器件波导中的光波传输速率尽可能相等(速率 匹配);微波的传输损耗要尽可能的小.由此,在行渡 型调制器中,明确行渡电极的微波特性是设计器件的 收藏日期:199812-12 关键. 早期,人们首先采用与集总参数调制器相同的微 带线结构.但很快发现n重掺杂衬底具有很高的传 输损耗和慢渡教应,从而限制了调制带宽,于是改用 半绝缘衬底的共平面电极结构.由于这种结构不采用 重掺杂层,所以克服了慢渡效应和高传输损耗,实现 了较高的调制频带.但也有其缺点:光波速度和微波 速度不匹配;无法将调制电场限锎于光波导区域内, 因此使得调制效率降低.为此,人们提出了几种新的 ?302? 结构,其共同的特点为;利用半绝缘衬底,在其上生长 一 层n一重掺杂层以将调制电场限于波导区内,提高 调制效率,同时利用n重掺杂层的慢波效应来实现 速度的匹配_JJ. 在文献E23中,作者提出了具有n重掺杂层的对 称共平面电极的定向耦台调制器.实际证明这种结构 是可行的但由于定向耦台结构自身特点,不可避免 地存在附加相穆,引起啁啾,限制了其在通讯线路