离子注入GaN的拉曼散射研究-物理学报.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 3# ( ’$$’ ( ， ， ， EOA 13# +O 1 ( *.P ’$$’ （ ） #$$$7(’,$J’$$’J3# $( J$-’,7$- =@K= 2LMBN@= BN+N@= $’$$’ @P:C 1 2PQG 1 BO. 1 离子注入!# 的拉曼散射研究! ! 张纪才 戴 伦 秦国刚 （北京大学物理学院，北京 #$$%#） 应丽贞 赵新生 （北京大学分子动态与稳态结构国家重点实验室，化学与分子工程学院物理化学研究所，北京 #$$%#） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ’$$# ( ’$$# % ’% 研究了离子注入前后 的拉曼散射光谱，特别是其中几个在各种离子注入后都存在的拉曼散射峰，如 ， )*+ ’,% 和 0 # 峰的性质，峰值强度随注入元素原子量、注入剂量和退火温度的变化关系 上述三个拉曼散射峰的强 (-’ --#./ 1 度都随注入元素原子量的增加而降低 当注入剂量增大时， 和 0 # 峰值强度减少，而 0 # 峰值强度却增 1 (-’ --#./ ’,%./ 大 随退火温度的升高，这三个拉曼散射峰的强度先增加后降低 对所观察到的实验现象和这三个峰的起源进行了 1 1 分析和讨论1 关键词： ，离子注入，拉曼散射，局域振动 )*+ ： ， ， $% -(’$2 %($ %-34 ， ，，和 等离子注入 中，注入剂量在 # 引 言 = ? 2 @ )* )*+ 3 6 #$#’ —- 6 #$#3 ./0 ’ 范围内，发现离子注入会在)*+ )*+ 基器件在高亮度蓝、绿光发光二极管和蓝 中引起一些与注入离子种类无关的拉曼散射峰，如 光激光二级管以及高温大功率微波器件等领域都有 ， 和 0 # 峰等 我们在 #3 — # ($$ (-$ -$./ 1 ( 6 #$ # 6 #$ 着重要和广泛的应用潜力与良好的市场前景1 制备