地方的应用型本科院校半导体器件物理课程教学探索.docVIP

地方的应用型本科院校半导体器件物理课程教学探索 　　摘 要：针对地方应用型本科高校开设《半导体器件物理》课程存在着不可忽视的局限性。结合多年的教学和管理经验，该文从教材的选用、教学内容的安排、教学课件的设计、以及将半导体工艺及器件仿真软件silvaco引入课堂和实验教学等方式，激发学生探索热情，加深学生对教学内容的理解，提高课堂教学质量，提高学生发现问题，解决问题及自主学习的能力。同时，采用全天开放实验室及与企业生产一线紧密协作等多个渠道培养方式，有效地培养了学生的专业素质、创新能力及工程实践能力。为学生将来就业奠定良好的基础。 　　关键词：课程 半导体器件 silvaco软件 工程实践 　　中图分类号：G642.3 文献标识码：A 文章编号：1672-3791（2015）12（a）-0157-04 　　Abstract：According to the limitation of setting up the semiconductor device physics course in local application oriented undergraduate universities，we stimulate the studentsenthusiasm for exploration，improve the quality of classroom teaching， deepen the understanding of teaching content by the appropriate selection of teaching materials， courseware design， and the introduction of the semiconductor device simulation software into the classroom and experimental.In addition，we explore a lot of channels， such as Opening laboratory throughout the day and collaborating closely with front line of production，to cultivate engineering practice ability，professionalism，innovation ability and to establish the studentsfuture employment. 　　Key Words：Course；Semiconductor devices；Silvaco software；Engineering practice 　　电子科学与技术专业是1998年教育部为适应市场需要而确定的一个新专业，专业的设置很大程度上是为国内集成电路产业发展服务的[1]。在当今信息化的社会中， 集成电路已成为各行各业实现信息化、智能化的基础，无论是在军事还是民用上都发挥着巨大作用。随着集成电路发展的小型化、微型化，对半导体元器件的尺寸和性能要求也逐渐提高。为适应社会对人才的需求，滁州学院拟定了电子信息专业和电子科学与技术专业的不同发展方向，并在电子科学与技术专业开设了电路设计和半导体器件两个方向，《半导体器件物理》则是两个专业方向必选的重要专业方向课程。然而，对于由高等专科学校升格的地方应用型本科高校来说，开设这门课程存在着不可忽视的困难。结合笔者多年的教学和管理经验，文章首先阐述了地方应用型本科院校《半导体器件物理》课程教学面临的主要限制，然后给出了有针对性的教学内容和教学方法，探索在条件有限情况下保证课程教学质量的方法。 　　1 课程教学面临的主要限制 　　1.1 人才培养目标及学生知识基础的限制 　　应用型本科高校人才培养的主要目标是提高学生的实验能力和工程实践能力，偏重理论的课程开设的比例较小。目标定位导致《半导体器件物理》这门课程的一些先修课程，如：量子力学、半导体物理等课程没有开设过，造成学生知识上难以衔接。另外，相对于重点院校和一般本科院校来说，应用型高校学生的物理、数学等基础知识相对薄弱，对深奥的理论知识的学习存在畏难和排斥心理。而《半导体器件物理》课程理论性强、物理概念抽象，物理公式多，学生学起来非常费力，因学习困难而导致学生缺乏兴趣。 　　1.2 实验设备数量和质量的限制 　　《半导体器件物理》是一门理论和实验并重的学科，该课程及后续开设的半导体工艺课程所需要的实验设备投资较大，利用率低，使得专业设备严重不足。如实验室晶体管特性图示仪数量很少，只能做演示实验。分组实验时使用安捷伦电源表测量二极管的正向、反向电流-电压特性。但此设