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半导体制造技术课程教学的改革实践 　　摘要：随着产业转型升级，学生学习环境条件的改善，学习途径的增多，教师如何利用现有资源提高课程教学效果，培养创新型研究人才？作者以半导体制造技术课程为例，从教学内容、教学方法、考核方式等方面进行教育教学改革。实践证明，课程教学改革后，教学效果明显提高。 　　关键词：半导体制造技术；教学改革；创新型人才 　　中图分类号：G633 文献标识码：A文章编号：1673-9795（2014）01（b）-0000-00 　　进入本世纪以来，我国经济发展到了转型的关键时期，过去靠高投资、高资源消耗、低效率的生产方式难以维持经济的可持续发展，通过引进技术或模仿的方式很难使经济进一步跨越。为使我国经济可持续发展，提升自主创新能力势在必行[1]。自主创新能力的提升依赖于人力资源整体水平的提高，培养具有创新意识高层次人才成为各高等学校责无旁贷的义务。 　　创新人才培养的关键环节是课程教学。浙江大学在四校合并之时就明确提出建立“研究型、创新型、综合型”大学，实施并不断完善知识、能力、素质并重的人才培养模式，学生不但要学习各种知识，而且要培养运用知识的各种能力，同时还要培养自身的优良的内在素质[2]。经过十几年的发展，浙江大学在创新人才培养、科学研究等方面取得了举世瞩目的成绩，这都与浙大全面实施课程教学改革密不可分。下面以半导体制造技术课程为例，探讨课程教学改革实践，以进一步提高人才培养质量，培养复合型创新人才。 　　1 半导体制造技术课程特点 　　半导体制造技术是针对材料类研究生一年级学生而开设的专业基础课，是一门内容丰富、动态发展、实践性和技术性很强的课程，对学生后续的研究工作及综合能力的培养具有重要作用。课程内容包括半导体材料特性、器件技术、硅和硅片制备、集成电路制造工艺、光刻、离子注入、硅片测试、装配与封装等，2学分，32学时。随着新技术、新工艺的不断出现，课程内容还会不断更新、充实和发展。 　　2 半导体制造技术课程教学改革实践 　　根据半导体制造技术课程的上述特点，结合浙大坚持“研究型、创新型”办学特色，该课程教学在使学生了解和掌握半导体制造技术基本知识和基本理论的同时，注重培养学生的创新能力和工程实践能力，使他们有能力在今后的科研工作和工程实践中用创新的思维方法去思考、解决半导体制造技术中的科研、工艺技术问题，这就要求我们授课教师提高认识，不断进行教学内容和教学方法、手段的改革，以提高课程教学质量和教学效果。 　　2.1教学内容的选取与组织研究生课程教学内容的选择标准应该对研究生的科学思维和创新方法的培养有利，要让研究生掌握科学的理论框架和逻辑框架，培养研究生的创新思维能力，变研究生被动学习为兴趣学习[3]。在具体实施教学时，首先根据课程的动态发展，对于那些有最新发展或最新应用的知识，参考教材或公开出版教材上没有的内容加到课程教学内容中去，然后对其进行精心组织，合理安排，其次将高年级研究生在半导体材料研究过程中的创新、研究成果作为案例引入课程内容，让研究生提前接触所在领域的研究，提高课程学习兴趣和为未来研究打下基础。 　　2.2更新教学理念，优化教学方法针对半导体制造技术课程特点，学习国内外研究生培养先进理念，优化教学方法。在传统课程教学中，教师多采用多媒体ppt教学，课程中心以教师授课为主，学生被动接受，这样的课堂注重知识的传授与学习，缺乏培养学生的科学研究能力和创新思维能力。鉴于此，在半导体制造技术课程教学中我们树立以学生为主体，教学与科研结合的理念实施教学。 　　依据半导体制造工艺特点，我们将半导体制造技术分成五个大项目，分别是半导体制造前期处理（包含氧化、淀积、金属化）、光刻、刻蚀、离子注入 、硅片测试与封装，课堂教学由此变成项目完成过程。相关理论知识由学生在完成项目的过程中查阅相关文献资料自主学习，教师在整个课程学习过程中起指导作用。具体实施过程如下：首先学生根据自己初步确定的研究方向分成五个小组，围绕课程项目进行选题；其次利用硅材料国家重点实验室的开放性和高年级研究生的研究，提前让学生进入实验室，以师傅带徒弟的方式让高年级研究生示范他们在研究过程中关于半导体制造技术方面的知识和技能，让学生获取感性认识，培养学生对课程的学习兴趣和对科学研究的兴趣；第三以小组为单位课外完成项目任务，教师明确提出任务完成目标、要求、项目成果及考核方式。第四项目成果展示及汇报，课堂上每小组派一名学生汇报小组内项目完成进展情况，小组内组员学习情况，项目任务完成过程中遇到的问题和重要的发现以及研究成果等。最后由教师对课程内容重要知识点进行归纳总结，对学生在项目完成中存在的问题及需改进的地方提出实质性指导意见或建议。这样充分发挥了学生学习的主动性和积极性，教师在整个教学过程中只起指导作用。实践证