轴向磁化永磁微电机磁场分析及定转子制作-中国科学院长春光学精密.PDF

研究与交流 轴向磁化永磁微电机磁场分析及定转子制作 1 1 1 2 杨杰伟 高建设 任天平 吴一辉 1 郑州大学（450001） 2 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所（130033） Magnetic Field Analysis on Axial-magnetized Permanent Magnet Micromotor and Fabrication of Its Stator and Rotor Yang Jiewei Gao Jianshe Ren Tianping Wu Yihui Zhengzhou University Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences 摘 要：为研究尺寸效应对轴向磁化永磁电机性能的 难且安匝数下降。 影响，用有限元方法对这种双转子电机的磁场进行仿真计 微电机的磁性部件尺寸减小，其作为机电能 算，得出轴向磁化永磁电机转子的气隙磁密波形分布。分 量转换媒介的气隙磁场也相应变化[2]，微电机的 析了转子外形尺寸、充磁极数、磁体厚度和气隙长度对气 主要性能指标输出转矩也将随之改变。因此，转 隙磁密的影响。采用一体化多极磁化方法和深刻蚀成型电 子磁场分析对该类电机的设计非常重要，而轴向 铸工艺分别制作了直径10mm电机的转子永磁体和硅片上 的平面定子线圈。 磁化永磁微电机定子线圈采用M EMS工艺光刻 关键词：轴向磁化 气隙磁密 磁场 线圈 电铸而成，为无槽结构，故气隙相对普通电机较 Abstract: In order to research dimensional effect on 大[3]。 the performance of axial magnetic PM motor, the finite element method was applied to simulate and calculate the 1 转子磁场有限元仿真分析 magnet field of this kind of the double-rotor motor, thus, the flux wave in the air gap of the rotor of the axial PM motor was gained. The influence on the flux wave in the 1.1 微电机转子的物理模型和数学模型 air gap by the rotor shape dimension, poles numbers of 轴向磁化永磁微电机采用包括若干个平面 magnetizing, thickness of magnets and length of the air 线圈的定子和轴向磁化的烧结钕铁硼双转子共 gap were analyzed. Finally, the 10mm diameter PM rotor 同组成的三明治结构（图1），转子一体化多极轴 and planar coil on the silicon