微型机械加工技术的研究综述.docVIP

微型机械加工技术的研究综述 　　【摘 要】本文详细介绍了微型机械加工技术的国内外发展现状，分析了微型机械加工的主要方法以及前沿关键技术，最后对其发展方向和前景做了展望。 　　【关键词】特种加工 微型机械 　　【中图分类号】TH16 【文献标识码】A 【文章编号】1006-9682（2012）10-0074-02 　　【Abstract】Domestic and foreign situation of micro mechanical processing technology was introduced in detail in the paper. The main methods and the frontier technologies were also analyzed. And finally the direction and prospect were discussed. 　　【Key words】Non-traditional machining Micromachine 　　一、引 言 　　微型机械加工或称微型机电系统，英文全称为Micro-electromechanical Systems，简称MEMS。它是指可以批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路，甚至外围接口、通讯电路和电源等于一体的微型器件或系统。其主要特点有：